Thermodynamic analysis of hydrochlorination process of technical silicon

Authors

  • Иван Федорович Червоный Запорожская государственная инженерная академия пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006, Ukraine
  • Юрий Васильевич Реков ЧАО «Завод полупроводников», г. Запорожье ул. Тепличная, 16, г. Запорожье, Украина, 69600, Ukraine
  • Сергей Геннадиевич Егоров Запорожская государственная инженерная академия пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006, Ukraine
  • Роман Николаевич Воляр Запорожская государственная инженерная академия пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006, Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.15587/1729-4061.2011.2300

Keywords:

Рolycrystalline silicon, chlorination, trichlorosilane

Abstract

The thermodynamic analysis of the reactions proceeding in the course of a hydrochlorination of technical silicon is made. It is shown that the greatest interest represents use of catalytic reactions which are capable to raise considerably efficiency of process of a hydrochlorination of technical silicon

Author Biographies

Иван Федорович Червоный, Запорожская государственная инженерная академия пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006

Доктор технических наук, профессор, заведующий кафедрой

Кафедра металлурги цветных металлов

Юрий Васильевич Реков, ЧАО «Завод полупроводников», г. Запорожье ул. Тепличная, 16, г. Запорожье, Украина, 69600

Генеральный директор

Сергей Геннадиевич Егоров, Запорожская государственная инженерная академия пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006

Кандидат технических наук, доцент

Кафедра металлурги цветных металлов

Роман Николаевич Воляр, Запорожская государственная инженерная академия пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006

Старший викладач

Кафедра металлурги цветных металлов

References

Червоній, І. Ф. Напівпровідниковий кремній: теорія і технологія виробництва [Текст] : монографія / І. Ф. Червоний, В. З. Куцова, В. І. Пожу-ев, Є. Я. Швець, О. А. Носко, С. Г. Єгоров, Р. М. Воляр ; під. заг. ред. І. Ф. Червоного. – Вид. 2-е, допр. і перер. – Запоріжжя: Видавництво ЗДІА, 2009. – 488 с. – Бібліогр. : 446-484. – 300 прим. – ISBN 978-966-8462-24-5.

Чернюк, А. Кремний поликристаллический – производство [Электронный ресурс] / Режим доступа : http://www.newbiz.com.ua/Partner/kremnij-polikristallicheskij-proizvodstvo.html / Выборка 29.10.2011 г. - Загл. с экрана.

Siliken chemicals. Technology [Электронный ресурс] / Режим доступа :

http://www.siliken-chemicals.com/technology / Выборка 26.10.2011 г. - Загл. с экрана.

Carl Merkh and Xiaojing Sun. Polysilicon plant waste recycling [Электронный ресурс] / Режим доступа : http://www.electroiq.com/articles/pvw/2011/10/polysilicon-plant-waste-recycling.html / Выборка 26.10.2011 г. - Загл. с экрана.

Outotec.Технологии. HSC Chemistry [Электронный ресурс] / Режим доступа :

http://www.outotec.com/pages/Page_21783.aspx?epslanguage=RU / Выборка 26.10.2011 г. - Загл. с экрана.

Горбунов, А. И. Реакции кремния и германия с галогенами, гидрид- и органогалогенами. [Текст] / А. И. Горбунов, А. П. Белый, Г. Г. Филиппов // Успехи химии. – 1974. – Т. 43, вып. 4. – С. 683-706. : библиогр. С. 703-706.

Аркадьев, А. А. Разработка способов синтеза трихлорсилана при повышенном давлении давлении [Электронный ресурс] / Полный текст : http://diss.rsl.ru/diss/05/0776/050776033.pdf / дисс. … канд. техн. наук : 05.17-01 / Назаров Ю.Н. – М.: РГБ. 2005 (Из фондов Российской Государственной Библиотеки). – 139 с. – Библиогр. : С. 115-123.

How to Cite

Червоный, И. Ф., Реков, Ю. В., Егоров, С. Г., & Воляр, Р. Н. (2012). Thermodynamic analysis of hydrochlorination process of technical silicon. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 6(6(54), 56–59. https://doi.org/10.15587/1729-4061.2011.2300

Issue

Section

Technology organic and inorganic substances