Джерело стрічкового пучка іонів

Authors

  • В. А. Никитинский Институт химических технологий Восточноукраинского национального университета им. В.Даля, ИХТ ВНУ Ул. Ленина, 31, г.Рубежное Луганской обл., Украина, 93009, Ukraine
  • Б. И. Журавлев Институт химических технологий Восточноукраинского национального университета им. В.Даля, ИХТ ВНУ Ул. Ленина, 31, г.Рубежное Луганской обл., Украина, 93009, Ukraine
  • А. В. Мищенко Институт химических технологий Восточноукраинского национального университета им. В.Даля, ИХТ ВНУ Ул. Ленина, 31, г.Рубежное Луганской обл., Украина, 93009, Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.15587/1729-4061.2009.5956

Abstract

Наведено опис конструкції і принципу дії джерела стрічкового пучка іонів різних газів, включаючи активні. Генерація іонів здійснюється плазмово-пучковим розрядом з холодним катодом, контрагірованним прямокутної щілиною з магнітним полем в ній. Джерело іонів призначений для технологічних установок з іоннолучевой обробкою матеріалів у вакуумі, вживаних в машинобудуванні, мікроелектроніці та інших галузях промисловості

Author Biographies

В. А. Никитинский, Институт химических технологий Восточноукраинского национального университета им. В.Даля, ИХТ ВНУ Ул. Ленина, 31, г.Рубежное Луганской обл., Украина, 93009

Кандидат технических наук, доцент

Кафедра общей физики и технической механики

Б. И. Журавлев, Институт химических технологий Восточноукраинского национального университета им. В.Даля, ИХТ ВНУ Ул. Ленина, 31, г.Рубежное Луганской обл., Украина, 93009

Кандидат технических наук, доцент

Кафедра общей физики и технической механики

А. В. Мищенко, Институт химических технологий Восточноукраинского национального университета им. В.Даля, ИХТ ВНУ Ул. Ленина, 31, г.Рубежное Луганской обл., Украина, 93009

Студент

References

  1. Стогний А.И., Никитинский В.А., Журавлев Б.И. Исследование эмиссии электронов из самостоятельного разряда низкого давления без магнитного поля // Тезисы докладов. Часть 1. 6 Всесоюзный симпозиум по сильноточной электронике. – Томск. – 1986. – С. 52–54.
  2. Стогний А.И., Никитинский В.А., Журавлев Б.И. Двухкаскадный самостоятельный разряд низкого давления без магнитного поля // Журнал технической физики. – 1988. – Т. 58, № 5. – С. 993–995.
  3. Журавлев Б.И., Прилепский В.В. Поликанальный разряд с полым катодом – эффективный генератор плазмы с большой эмиссионной поверхностью // 1 Всесоюзное совещание по плазменной эмиссионной электронике. – г. Улан-Удэ, Бурятский инст. естеств. наук, СО АН СССР, научный совет по проблеме «Физическая электроника». – 1990. – С. 110-112.
  4. Журавлев Б.И., Прилепский В.В., Горлатов В.С. Технологический источник ионов // Журнал “Приборы и техника эксперимента”. – 1993. – № 3. – С. 215-218.
  5. Никитинский В.А., Журавлев Б.И. Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов // Журнал “Технология и конструирование в электронной аппаратуре”. – 2006. – № 4. – С. 55–58.
  6. Никитинский В.А., Журавлев Б.И., Зема А.В. Эмиттер ионов на основе трехкаскадного самостоятельного разряда // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. – 2008. № 1/5. – С. 25-26.

Published

2009-04-01

How to Cite

Никитинский, В. А., Журавлев, Б. И., & Мищенко, А. В. (2009). Джерело стрічкового пучка іонів. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 2(5(38), 7–9. https://doi.org/10.15587/1729-4061.2009.5956