[1]
Новосядлий, С.П., Терлецький, А.І. і Фрик, О.Б. 2012. ПРЕЦИЗІЙНІ ТЕХНОЛОГІЇ ЛАЗЕРНОЇ ОБРОБКИ ТОНКОПЛІВКОВИХ ЕЛЕМЕНТІВ ІНТЕГРАЛЬНИХ СХЕМ. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies. 5, 5(59) (Жов 2012), 35–45. DOI:https://doi.org/10.15587/1729-4061.2012.4573.