Новосядлий, С. П., Терлецький, А. І., & Фрик, О. Б. (2010). Сучасні лазерні твердофазні технологічні процеси в субмікронній технології ВІС. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 3(7(45), 52–60. https://doi.org/10.15587/1729-4061.2010.2865