Новосядлий, С. П., Терлецький, А. І., & Фрик, О. Б. (2012). ПРЕЦИЗІЙНІ ТЕХНОЛОГІЇ ЛАЗЕРНОЇ ОБРОБКИ ТОНКОПЛІВКОВИХ ЕЛЕМЕНТІВ ІНТЕГРАЛЬНИХ СХЕМ. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 5(5(59), 35–45. https://doi.org/10.15587/1729-4061.2012.4573