НОВОСЯДЛИЙ, С. П.; ТЕРЛЕЦЬКИЙ, А. І.; ФРИК, О. Б. Сучасні лазерні твердофазні технологічні процеси в субмікронній технології ВІС. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, [S. l.], v. 3, n. 7(45), p. 52–60, 2010. DOI: 10.15587/1729-4061.2010.2865. Disponível em: https://journals.uran.ua/eejet/article/view/2865. Acesso em: 1 вер. 2024.