НОВОСЯДЛИЙ, С. П.; ТЕРЛЕЦЬКИЙ, А. І.; ФРИК, О. Б. ПРЕЦИЗІЙНІ ТЕХНОЛОГІЇ ЛАЗЕРНОЇ ОБРОБКИ ТОНКОПЛІВКОВИХ ЕЛЕМЕНТІВ ІНТЕГРАЛЬНИХ СХЕМ. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, [S. l.], v. 5, n. 5(59), p. 35–45, 2012. DOI: 10.15587/1729-4061.2012.4573. Disponível em: https://journals.uran.ua/eejet/article/view/4573. Acesso em: 18 трав. 2024.