Новосядлий, Степан Петрович, Любомир Васильович Мельник, and Святослав Володимирович Новосядлий. 2015. “Implementation Plasma Chemical Etching in Submicron Technology Wsi Structure”. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies 3 (5(75):21-24. https://doi.org/10.15587/1729-4061.2015.42128.