Новосядлий, Степан Петрович, Сергій Іванович Бойко, Любомир Васильович Мельник, and Святослав Володимирович Новосядлий. 2015. “Development of Technology of Multicharged Ion Implantation of GaAs for Submicron Structures of Large-Scale Integrated Circuits”. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies 6 (5(78):32-40. https://doi.org/10.15587/1729-4061.2015.54233.