Новосядлий СП, Терлецький АІ, Фрик ОБ. Сучасні лазерні твердофазні технологічні процеси в субмікронній технології ВІС. EEJET [інтернет]. 28, Травень 2010 [цит. за 21, Грудень 2025];3(7(45):52-60. доступний у: https://journals.uran.ua/eejet/article/view/2865