Берченко ММ, Єрохов ВЮ, Нічкало СІ, Бережанський ЄІ. Study of porous silicon surface by mass spectroscopy methods. EEJET [Internet]. 2014Dec.15 [cited 2024Dec.25];6(11(72):41-5. Available from: https://journals.uran.ua/eejet/article/view/33550