ДОСЛІДЖЕННЯ МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНИХ П’ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИХ СТРУКТУР МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЇ МІКРОСКОПІЇ - Базіло, К. В.; Білокінь, С. О.; Бондаренко, М. О.; Медяник, В. В. (Вісник Черкаського державного технологічного університету, 2018)
Нині провідні виробники радіоелектронних компонентів серійно випускають досить ве-ликий перелік елементів, до складу яких включені різні мікроелектромеханічні структури. Основна перевага використання у вимірювальних приладах елементів з п’єзокерамічних матеріалів обумовлюється їх особливою структурою, яка дозволяє реалізувати в одному такому елементі принципово різні схеми, наприклад, для одночасного вимірювання температури, тиску і вологості. Метою роботи є вивчення методом атомно-силової мікроскопії прихованих мікродефектів і мікронерівностей поверхонь п’єзоелектричних перетворювачів.