Петренко СФ, Новаковський ОГ, Антонюк ВС, Скорина ЄВ, Бондаренко ЮЮ. ОСОБЛИВОСТІ ПРОВЕДЕННЯ ДОСЛІДЖЕНЬ МІКРОГЕОМЕТРІЇ ТА ПОВЕРХНЕВИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ ДІЕЛЕКТРИЧНИХ МАТЕРІАЛІВ ДЛЯ МІКРО- І НАНОЕЛЕКТРОНІКИ. Вісник ЧДТУ [інтернет]. 19, Березень 2018 [цит. за 11, Червень 2026];1(1):5-13. доступний у: https://journals.uran.ua/index.php/2306-4412/article/view/153265