Про роль руху розплаву при вирощуванні монокристалів кремнію за методом БЗП

Сергей Геннадьевич Егоров

doi:10.15587/2312-8372.2012.4729

Автор(и)

Сергей Геннадьевич Егоров Запорізька державна інженерна академія, Україна

DOI:

https://doi.org/10.15587/2312-8372.2012.4729

Ключові слова:

Безтигельна зонна плавка, рух розплаву

Анотація

У роботі досліджуються умови виникнення конвекції у розплавленої зоні при вирощуванні монокристалів кремнію методом безтигельної зонної плавки. Встановлено, що течії, які виникають у розплавленої зоні (термогравітаційні, відцентрові, термокапілярні та електродинамічні) впливають на розподіл домішок у розплаві і внаслідок цього визначають якість кінцевої продукції

Біографія автора

Сергей Геннадьевич Егоров, Запорізька державна інженерна академія

Доцент

Кафедра металургії кольорових металів

Посилання

Фалькевич, Э.С. Технология полупроводникового кремния [Текст] / Э.С. Фалькевич, Э.О. Пульнер, И.Ф. Червоный и др.; под ред. Э.С. Фалькевича. – М.: Металлургия. – 1992. – 408 с. – Библиогр.: с. 399-407. – 1170 экз. – ISBN 5-229-00740-0.
Червоний, І.Ф. Напівпровідниковий кремній: теорія і технологія виробництва [Текст] : монографія / І.Ф. Червоний, В.З. Куцова, В.І. Пожуєв та інш.; під ред. І.Ф. Червоного. – 2-ге вид., допрацьоване та перероблене. – Запоріжжя: ЗДІА, 2009. – 488 с. – Библиогр.: с. 446-484. – 300 прим. – ISBN 978-966-8462-24-5.
Червоный, И.Ф. Применение безразмерных критериев для описания состояния расплава кремния при БЗП [Текст] : сб. трудов ЗГИА / И.Ф. Червоный, С.Г. Егоров, В.О. Масленников // Металлургия. – 2002. – Вып. № 6. – С.90-94.
Егоров, С.Г. Описание движения расплава кремния при бестигельной зонной плавке [Текст] / С.Г. Егоров, И.Ф. Червоный, Г.А. Колобов, А.П. Никоненко // материалы Международной конференции «Наука о материалах на рубеже веков: Достижения и Перспективы», 4-8 ноября 2002, Киев. – С.143-144.
Егоров, С.Г. Уменьшение влияния тепловой конвекции на качество монокристаллов кремния [Текст] : зб. праць ЗДІА / С.Г. Егоров, И.Ф. Червоный, Р.Н. Воляр // Металургія. – 2009. – Вип. № 19. – С.81-86.
Єгоров, С.Г. Вплив потоків в розплаві на розподіл домішки під час безтигельного зонного плавлення [Текст] : зб. праць ЗДІА / С.Г. Єгоров, Е.Я. Швець, І.Ф. Червоний, О.П. Головко // Металургія. – 2005. – Вып. №12. – С.57-62.
Червоный, И.Ф. К вопросу о взаимосвязи однородности монокристаллов кремния и потоков расплава в процессе БЗП [Текст] / И.Ф. Червоный, С.Г. Егоров, Е.Я. Швец // материалы Международной конференции «Стратегия качества в промышленности и образовании», 3-10 июня 2005, Варна, Болгария. – С.129-130.
Егоров, С.Г. Исследование электромагнитных полей плавильного и подогревающего индукторов при бестигельной зонной плавке [Текст] / С.Г. Егоров, И.Ф. Червоный, Е.Я. Швец // Современная электрометаллургия. – № 2. – 2003. – С.34-36.
Червоный, И.Ф. Магнитное поле плавильного и подогревного индукторов при бестигельной зонной плавке [Текст] : сб. трудов ЗГИА / И.Ф. Червоный, С.Г. Егоров // Металлургия. – 2003. – Вып. № 7. – С.60-64.
Егоров, С.Г. Конвекционные течения в расплавах полупроводников [Текст] : монография / С.Г. Егоров, В.И. Пожуев, И.Ф. Червоный. – Запорожье: ЗГИА, 2007. – 155 с. – Библиогр.: с. 139-152. – 300 прим. – ISBN 978-966-7101-82-4.