Розподіл домішок в процесі вирощування монокристалів кремнію

Автор(и)

  • Юрій Вікторович Головко Запорізька державна інженерна академія, Україна

DOI:

https://doi.org/10.15587/2312-8372.2012.4734

Ключові слова:

Кремній, домішка, ефективний коефіцієнт розподілу

Анотація

У статті на підставі експериментальних досліджень і розроблених математичних моделей показано, що величина ефективного коефіцієнта розподілу домішки  вуглецю зменшується при нагромадженні вуглецю в розплаві в  процесі кристалізації

Біографія автора

Юрій Вікторович Головко, Запорізька державна інженерна академія

Доцент

Кафедра фізичної та біомедичної електроніки

Посилання

  1. Швец, Е.Я. Определение эффективного коэффициента распределения примеси при выращивании монокристалла [Текст] / Е.Я. Швец // Теория и практика металлургии. – 2007. – № 4. – С. 31-35.
  2. Швец, Е.Я. Моделирование распределения примеси бора в процессе выращивания монокристаллов кремния [Текст] : зб. наук. пр. / Е.Я. Швец, О.П. Головко, В.С. Баев, Ю.В. Головко // Металургія. – Запоріжжя: ЗДІА, 2007. – Вип. 16. – С. 59 – 63.
  3. Швець, Є.Я. Математичне моделювання розподілу летучої домішки у процесі вирощування монокристалів кремнію [Текст] / Є.Я. Швець, Ю.В. Головко // Вісник ЖДТУ. Серія: Технічні науки. – Житомир: ЖДТУ, 2008. – №4 (47). – С. 131-135.
  4. Швец, Е.Я. Исследование массообмена кислорода в процессе выращивания монокристаллов кремния по методу Чохральского [Текст] / Е.Я. Швец, Ю.В. Головко // Теория и практика металлургии, 2008. – № 4-5 (65). – С. 3-7.
  5. Швец, Е.Я. Исследование распределения углерода между расплавом, твёрдой и газовой фазами в процессе выращивания монокристаллов кремния [Текст] : зб. наук. пр. / Е.Я. Швец, Ю.В. Головко // Металургія. – Запоріжжя: ЗДІА, 2008. – Вип. 17. – С. 104-108.
  6. Головко, Ю.В. Модернизация тепловой системы для выращивания монокристаллов кремния [Текст] / Ю.В. Головко, А.С. Голев, А.Б. Комаров, Е.Я. Швец, С.Г. Егоров, Р.Н. Воляр // Теория и практика металлургии, 2008. – №2 (63). – С.20-23.
  7. Швец, Е.Я. Исследование распределения углерода между расплавом, твёрдой и газовой фазами в процессе выращивания монокристаллов кремния [Текст] : зб. наук. пр. / Е.Я. Швец, Ю.В. Головко // Металургія. – Запоріжжя: ЗДІА, 2008. – Вип. 17. – С. 104-108.
  8. Швець, Є.Я. Залежність коефіцієнта розподілу домішок у монокристалі кремнію від швидкості його вирощування [Текст] : зб. наук. пр. / Швець Є.Я., Головко Ю.В. // Металургія. – Запоріжжя: ЗДІА, 2011. – Вип. 24. – С. 113 -116.

##submission.downloads##

Як цитувати

Головко, Ю. В. (2012). Розподіл домішок в процесі вирощування монокристалів кремнію. Technology Audit and Production Reserves, 3(1(5), 29–30. https://doi.org/10.15587/2312-8372.2012.4734

Номер

Том 3 № 1(5) (2012): МІЖНАРОДНА НАУКОВА КОНФЕРЕНЦІЯ. Фундаментальні дослідження

Розділ

Фундаментальні дослідження

Ліцензія

Авторське право (c) 2016 Технологічний аудит та резерви виробництва

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Закріплення та умови передачі авторських прав (ідентифікація авторства) здійснюється у Ліцензійному договорі. Зокрема, автори залишають за собою право на авторство свого рукопису та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons CC BY. При цьому вони мають право укладати самостійно додаткові угоди, що стосуються неексклюзивного поширення роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом, але за умови збереження посилання на першу публікацію статті в цьому журналі.