Ефективність магнітної сепарації макрочастинок в вакуумно-дугових системах нанесення покриттів

Автор(и)

  • А. А. Бизюков Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна, Україна
  • А. Д. Чибисов Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна, Україна
  • Е. В. Ромащенко Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна, Україна
  • В. В. Коваленко Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна, Україна

DOI:

https://doi.org/10.24144/2415-8038.2015.38.28-32

Ключові слова:

макрочастинки, плазма, магнітний фільтр

Анотація

Вивчена можливість транспортування макрочастинок (МЧ) через магнітний фільтр вакуумно-дугових джерел плазми. Показано, що при русі МЧ через криволінійний магнітний фільтр МЧ можуть заряджатися як позитивно, так і негативно. При умові існування від`ємного просторового заряду (радіального електричного поля) в плазмоводі відбуваються зміни траєкторії руху МЧ. При цьому в залежності від параметрів МЧ та плазми, можливо їх утримання всередині плазмоводу. Отримані умови, при яких відбувається транспортування макрочастинок через фільтр.

Посилання

Boxman R.L., Sanders D.M., Martin P.J. (Eds). Handbook of Vacuum Arc Science and Technology: Fundamentals and Applications − Park Ridge, NJ: Noyes Publ. − 1995. − 742 p.

Anders A.Cathodic Arcs: From Fractal Spots to Energetic Condensation. Springer Science Business Media, LLC. − 2008. − 540 p.

Аксенов И.И., Андреев А.А., Белоус В.А. и др. Вакуумная дуга: источники плазмы, осаждение покрытий, поверхностное модифицирование / под. ред. Аксенова И.И. − НПП «Издательство "Наукова думка" НАН Украины» − 2012. – 726 с.

Фортов В.Е., Храпак А.Г. Пылевая плазма // УФН. − 2004. − Т. 174, № 5. − С. 495-544.

Bizyukov A.A., Romashchenko E.V. et al. Electric potential of a macroparticle in beam-plasma systems // Plasma Physics Reports.− 2009. − Vol. 35, №. 6. − P. 499–501.

Грановский В.Л. Электрический ток в газе. Установившийся ток. - М., 1971. – 543 с.

Byon E. and Anders A. Bias and Self-Bias of Magnetic Macroparticle Filters for Cathodic Arc Plasmas // J.Appl.Phys. − June 15, 2003. - V. 93, No. 12 −– Р. 8890-8897.

##submission.downloads##

Опубліковано

2015-07-01

Номер

Том 38 (2015)

Розділ

Статті

Ліцензія

Авторське право (c) 2015 Науковий вісник Ужгородського університету. Серія Фізика

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:
    1. Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
    2. Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
    3. Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).