Газорозрядна ультрафіолетова лампа на молекулах хлору

Автор(и)

  • О. К. Шуаібов Ужгородський національний університет, фізичний факультет, кафедра квантової електроніки, проблемна науково-дослідна лабораторія фізичної електроніки, Україна
  • Л. Л. Шимон Ужгородський національний університет, фізичний факультет, кафедра квантової електроніки, проблемна науково-дослідна лабораторія фізичної електроніки, Україна
  • І. В. Шевера Ужгородський національний університет, фізичний факультет, кафедра квантової електроніки, проблемна науково-дослідна лабораторія фізичної електроніки, Україна
  • А. О. Малініна Ужгородський національний університет, фізичний факультет, кафедра квантової електроніки, проблемна науково-дослідна лабораторія фізичної електроніки, Україна

DOI:

https://doi.org/10.24144/2415-8038.2008.22.74-81

Ключові слова:

Ультрафіолет, Молекула хлору

Анотація

В статті наводяться результати розробки та оптимізації ультрафіолетової лампи низького тиску, яка випромінює на смугах молекули хлору з максимумом при 200 і 258 нм та збуджується з допомогою повздовжнього тліючого розряду в суміші He-Cl2 (P=0.2-0.3 кПа). Досліджено вольт-амперні та емісійні характеристики тліючого розряду. Проведено оптимізацію середньої потужності випромінювання ультрафіолетової лампи в залежності від параметрів системи збудження тліючого розряду і тиску та складу робочої газової суміші. На основі рішення рівняння Больцмана для функції розподілу електронів за енергіями  розряду на оптимальній, за даними експерименту суміші He-Cl2, розраховано питомі втрати потужності розряду на основні елементарні процеси, транспортні характеристики електронів, коефіцієнти іонізації та прилипання в залежності від величини параметра Е/Р. Розрахункові характеристики плазми ультрафіолетової лампи дозволили обґрунтувати якісну картину протікання фізико-хімічних процесів в плазмі малої щільності на суміші He-Cl2.

Посилання

Ломаев М.И., Скакун В.С., Соснин Э.А, Тарасенко В.Ф. и Шиц Д.В., Ерофеев М.В. Эксилампы – эффективные источники спонтанного УФ-ВУФ излучения // Успехи физических наук.-2003.-Т. 173. - № 2.- С. 201-207.

Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. – М.: Энергоатомиздат, 1987. - С. 45-63.

Шуаібов О.К., Шевера І.В., Шимон Л.Л., Соснін Е.А. Сучасні джерела ультрафіолетового випромі-нювання: розробка та застосування. – Ужгород-Томск: Говерла, 2006. – 223 с.

Панченко А.Н., Скакун В.С., Соснин Э.А, Тарасенко В.Ф. Мощные коаксиальные эксилампы со средней мощностью более 100 Вт // Письма в ЖТФ. - 1995.-Т.21, Вып. 20. - С. 77-80.

Ломаев М. И., Панченко А.Н., Соснин Э.А, Тарасенко В.Ф. Цилиндрические эксилампы с накачкой тлеющим разрядом // ЖТФ. - 1998.-Т.68, №. 2. -С. 64-68.

Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.И., Шевера И.В. Характеристики поперечного объем-ного разряда в CF2Cl2 // Теплофизика высоких температур. - 2000.-Т.38, № 3. -С. 386-389.

Шуаибов А.К, Шимон Л.Л., Дащенко А.И., Шевера И.В. Эксимер-ный излучатель низкого давления для спектральной области 170-310 нм // Приборы и техника эксперимента. - 2002. - №. 1. - С. 104-106.

##submission.downloads##

Опубліковано

2008-06-30

Номер

Розділ

Статті