Cтабілізіюче покриття люминесцируючих шарів пористого кремнію

Автор(и)

  • Д. Ф. Тимохов Одеський національний університет ім. І.І. Мечникова, Україна

DOI:

https://doi.org/10.24144/2415-8038.2011.30.87-90

Ключові слова:

Люмінесцуючі структури, Пористий кремній, Електроліт

Анотація

Запропонована методика виготовлення люмінесцуючих структур пористого кремнію, що не деградують на відкритому повітрі з часом. Для отримання стабільних структур пористого кремнію було застосовано низькотемпературний відпал  і додавання в електроліт HCl і FeCl3.

Посилання

Canham L.T. Аppl. Phys. Let., 57, 1046 (1990).

U.S. Patent 5,324,965 (1994).

U.S. Patent 5,552,328 (1996).

Timokhov D.F., Timokhov F.P. Microelectron. Eng., 81, 288 (2005).

Тимохов Д.Ф. Науковий вісник Ужгородського університету. Серія Фізика, 24, 185 (2009).

Тімохов Д.Ф. Науковий вісник Ужгородського університету. Серія Фізика, 14, 113 (2003).

Chen X.S., Zhao J.J., Wang G.G. Phys. Lett. A, 212(4), 285 (1996).

##submission.downloads##

Опубліковано

2011-12-31

Номер

Розділ

Статті