Mechanical processing of sapphire crystals and producing substrates of them

Authors

  • Д. І. Блецкан Науково-виробнича фірма “Технокристал”, Ужгородський національний університет, Ukraine
  • О. Д. Блецкан Scientific-production firm “Technocrystal”, Uzhhorod national university, Ukraine
  • О. Р. Лук’янчук Scientific-production firm “Technocrystal”, Uzhhorod national university, Ukraine
  • А Л Машков Scientific-production firm “Technocrystal”, Uzhhorod national university, Ukraine
  • Я. М. Пекар Scientific-production firm “Technocrystal”, Uzhhorod national university, Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.24144/2415-8038.2000.7.161-173

Keywords:

Sapphire, Gallium nitride (GaN), Heteroepitaxy

Abstract

The main stages of the producing technology of sapphire plates of (0001) orientation with the basic plane (112̅0) for GaN heteroepitaxy are described.

References

Папков В.С., Цыбульников М.Б Эпитаксиальные кремневые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе - М: Энергия. 1979. 88с.

Ponce F.A., Bour DP. Nitride-based semiconductors for blue and green light-emitting devices. -Nature. 1997. V.386. P.351-359.

Мокеев О.К., Романов А С. Технология полупроводникового производства. - М.: Высш. школа. 1984.

Блецкан Д.І., Блецкан О.Д., Лук'янчук О.Р., Машков A.I., Пекар Я.М., Цифра В.І. Промислове вирощування моно-кристалів сапфіра видозміненим методом Кіропулоса. - Науковий вісник Ужгородського університету. Серія фізика. 2000. №6. С.221-240.

Рубин и сапфир. Под ред. Классен-Неклюдовой М.В., Багдасарова X С. -М.: Наука. 1974. 236 с.

Шубников А.В. Оптическая кристаллография. М.: Изд-во АН СССР. 1950. 275 с.

Грум-Гржимайло С.В. Приборы и методы для оптического исследования кристаллов. - М.: Наука. 1972. 127 с.

Published

2000-12-31

Issue

Section

Статті