Дослідження мікростехіометричного складу тонких плівок YBa<sub>2</sub>Сu<sub>3</sub>O<sub>7</sub>, отриманих у різних режимах лазерного напилення
DOI:
https://doi.org/10.24144/2415-8038.2009.25.65-74Анотація
Досліджено мікростехіометричний склад плівок сполуки YBa2Сu3O7, отриманих у різних режимах імпульсного лазерного напилення. Проаналізовано вплив режиму роботи лазера, температур підкладки і мішені на мікростехіометрію плівок, які напилюються. Показано, що плівки містять значну кількість крапель мікрометрового розміру. Виявлено, що краплі збагачені ітрієм та барієм, збіднені міддю, в той час як плівка між краплями навпаки – збагачена міддю та збіднена ітрієм та барієм. Дано рекомендації щодо оптимізації умов напилення.Посилання
Chen Y.L., Mantese J.V., Hamdi A.H., Micheli A.L. Microstructure and super-conducting properties of Y-Ba-Cu-O and Yb-Ba-Cu-O thin films by metalorganic deposition // J. Mater. Res. – 1989. –Vol.4. – № 5. – P.1065-1071.
Shirakawa Y., Kobayashi M. Effect of substrat temperature and composition on the crystallyne state of Ba2YCu3O7-δ magnetron-sputtered thin films // Jpn. J. Appl. Phys. – 1989. – Vol.28. – № 8. – P.L1405-L1407.
Гаспаров В.А., Дите А.Ф., Овчин-ников И.М., Сорокин Н.М., Хасанов С.С., Яременко В.Г. Влияние температуры подложки на эпитаксиальный рост сверхпроводящих пленок YBa2Cu3O6,9 при лазерном распы-лении // Сверхпроводимость: физика, химия, техника. – 1989. – Т.2. – № 2. – С. 13-16.
Ohkubo I., Matsumoto Y., Ueno K., Chikyow T., Kawasaki M., Koinuma H. Synthesis of epitaxial Y-type magneto-plumbite thin films by quick optimization with combinatorial pulsed laser deposition // Journal of Crystal Growth. – 2003. – Vol.247. – P.105-109.
Berling D., Del Vechio A., Acquaviva S., Bolmont D., Leggieri G., Loegel B., De Giorgi M. Luisa, Luches A., Mehdaoui A., Tapfer L. Reactive laser deposition of high quality YBaCuO and ErBaCuO films // Applied Surface Science. – 1996. – Vol.96-98. – P. 739-743.
Moon J.Y., Park S.M. Laser ablation of a YBCO target at 266 nm and 1064 nm: reactive scattering of a YBCO plume and an oxygen jet // Bull. Korean Chem. Soc. – 1999. – Vol.20. – № 9. – Р. 1101-1104.
Aselage T., Keefer K. Liquidus relations in Y-Ba-Cu oxides // J. Mater. Res. – 1988. – Vol.3. – № 6. – Р. 1279-1291.
Технология тонких пленок. Под ред. Майссэла Л., Гленга Р. – М.: Сов. радио, 1977. Т.1. – 662 с.
Югай К.Н., Серопян Г.М., Ску-тин А.А., Югай К.К., Муравьев А.Б. Макроструктура высокотемпературных сверхпроводящих YВаCuO пленок, выращенных методом лазерной абляции // ЖТФ. – 1998. – Т.68. – № 2. – С. 48-51.
Geyer T.J., Weimer W.A. Parametric effects on plasma emission produced during excimer laser ablation of YBa2Cu3O7-x // Applied Spectroscopy. – 1990. – Vol.44. – № 10. – P. 1659-1664.
Wang X., Amoruso S., Armenante M., Bruzzese R., Spinelli N., Velota R. Charged species analysis in YNi2B2C laser ablation by time-of-flight mass spectrometry // Appl. Surf. Sci. – 2000. – Vol. 168. – P. 100-103.
Yun S.I., Seo H.J. Photothermal beam deflection technique for the study of solids? // Chinese Journal of Physics. – 1992. – Vol.30. – № 5. – P. 753-767.
Tillack М.S., Blair D.W., Harilal S.S. The effect of ionization on cluster formation in laser ablation plumes // Nanotechnology. – 2004. – Vol.15. – P. 390-403.
Arnold C.B., Aziz M.J. Stoichiometry issues in pulsed laser deposition of alloys grown from multicomponent targets // Appl. Phys. A. – 1999. – Vol.69. – P. S23-S27.
Вьюков М.Л., Комарницкий А.А., Сороков А.И. Импульсная лазерная обработка сверхпроводящих пленок Y-Ba-Cu-O // Сверхпроводимость: физика, химия, техника. – 1989. – Т.2. – № 12. – С. 108-110.
Kalanda N.A., Trukhan V.M. Phase transformations in the Y2BaCuO5, «Ba3Cu5O8» and Y2BaCuO5 - «BaCuO2» systems // Cryst. Res. Technol. – 2001. – Vol.36. – № 3. – Р. 289-294.
Опачко И.И. Особенности конденсации пленок компонентами плазмы, созданной наносекундными лазерными импульсами // ЖТФ. – 1981. – Т.51. – № 2 – С. 439-442.
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2009 Науковий вісник Ужгородського університету. Серія Фізика
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).
