Виникнення просторово періодичних дисипативних структур щільності точкових дефектів і кисневих преципітатів в опроміненому кремнії

Автор(и)

  • П. А. Селищев Київський університет ім. Т. Шевченка, Україна

DOI:

https://doi.org/10.24144/2415-8038.2001.9.40-45

Анотація

Розглядається кінетика освіти кисневмісних термодонорів, коли в атомарному розчинений кисень утворює зв'язані стани (комплекси). Отримано аналітичний розв'язок відповідних нелінійних рівнянь кінетики. Показано, що завдяки пружній взаємодії кисневмісних комплексів їх однорідний розподіл для певних параметрів стає нестійким і розвивається просторово-періодичний розподіл з періодом 10-1000 А.

Посилання

Николис Г., Пригожин И. Самоорганизация в неравновесных системах. М.,”Мир” 1980, 406 с.

Антонова И.В., Мискж А., Попов В.П., Шаймсев С.С. ФТП,.31, вып. 8 998(1997).

Баграев Н.Т., Витовский Н.А., Власенко Л.С., Машовец Е В., Рахимов О. ФТП,. 17, вып. 11 1979(1983).

Павлов П.В., Пашков В.И., Чигирин¬ская Т.Ю. Письма в ЖТФ, 15, вып.4 57 (1989).

Колковский И.И., Лукьяница В.В. ФТП, 31, вып.4 405 (1997).

Мясников М.А., Ободников В.И., Серяпин В.Г., Фомин Б.И., Черепов Е.И. ФТП,. 31, вып. 3 338 (1997).

Степанов М.Г., Потапов А.Б., Малинецкий Г Г. Образование диссипативных структур в кремнии, имплантированном бором. (Препринт / Ин-т прикладной математики РАН - 1997. -№ 69).

Kaiser W., Frish H.L. and Reiss H. Phys.Rev., 112, № 5, 1546 (1958).

Бабич B.M., Блецкан H.И., Венгер Е.Ф. Кислород в монокристаллах кремния. Київ “Інтерпррес ЛДТ 1997,240 с.

Selishchev Р.А. Development of periodical spatial distribution of donor states in heat-treated silicon. Proceedings of the Second International Conference on Modeling and Simulation of Microsystems. April 19-21, 1999, Puerto Rico, USA. P.69-70

П.Конозенко И.Д., Семенюк AK., Хиврич В.И. Радиационные эффекты в кремнии. Киев, “Наукова думка”, 1974, 199 с.

Кривоглаз М.А. Дифракция рентгеновских лучей и нейтронов в неидеальных кристаллах (Киев: Наукова думка, 1983).

Кабалдін А.Н., Неймаш В.Б., Цмоць В.М., Шпінар Л І. УФЖ, 40, № 10 1079 (1995).

##submission.downloads##

Опубліковано

2001-07-15

Номер

Розділ

Статті