Дослідження процесів одержання і деякі електрофізичні характеристики епітаксійних структур Si-Ge на підкладці Si та Si-Ge
DOI:
https://doi.org/10.24144/2415-8038.2011.29.30-36Ключові слова:
Епітаксійна структура, Кремній, ГерманійАнотація
У роботі досліджувалися процеси отримання епітаксійних структур Si-Ge на підкладках Si і Si-Ge методом спільного водневого відновлення тетрахлориду кремнію і германію. Отримані експериментальні зразки епітаксійних структур вивчалися методами лазерної мас-спектрометрії, мікрорентгеноспектрального аналізу, растрової мікроскопії, ядерно-фізичним методом.Посилання
Hermann G. Grimmeiss. Silicongermanium a promise into the future // Физика и техника полупроводников. −
− Т 33, вып 9. − С. 1032–1034.
Красильник. З.Ф. Полупроводниковые наноструктуры: оптические свойства и применения // Известия академии наук, серия физическая. − 2001. − Т. 65, №2. − С. 168–170.
Борискин А.И., Еременко В.М., Лялько И.С., Брюханов А.С., Смиян О.Д., Быковский Ю.А. Аналитические и аппаратурные характеристики прибора ЭМАЛ-2. Приборы и системы управления, 1983, № 1, С. 26-29.
Білоусов В.И., Ковалев И.Д., Потапов А.М., Черняков С.В. Влияние юстировки масс-спектрометра ЭМАЛ-2
на правильность и воспроизводимость результатов анализа // Высокочистые вещества. 1994, № 3, С. 121-128.
Рамендик Г.И. Правильность и воспроизводимость масс-спектрометрического анализа геологических образцов и
Uzhhorod University Scientific Herald. Series Physics. Issue 29. – 2011 35 лунного грунта // Журнал анали-
тической химии, 1977, вып. 10, С. 1990-1998.
Быковский Ю.А., Тимошин В.Т., Лаптев И.Д., Потапова В.И. Исследование зональности и секториальности природных кристаллов методом лазерной масс-спектрометрии // Высокочистые вещества, 1987, №1, с. 218-223.
Рамендик Г.И., Крючкова О.И., Тюрин Д.А., Гронская С.И. Методика масс-спектрометрического анализа пород и минералов с использованием внутреннего стандарта // Журнал аналитической химии, 1988, вып. 7, С. 1177-1183.
Ньюбэри Д. Формирование изображения в растровом электронном микроскопе. Практическая растровая
электронная микроскопия. М.: Мир,
, С. 113 – 169.
Everhart T.E., Wells O.C., Oatlly C.W., J. Electron. Control, 7, 97 (1959), Р. 323.
Duncumb P., in: Proc. EMAG, Conference Series # 10, Institute of Physics, London 1971, Р. 132.
Reed S.J.B., J. Phys. D., 4, 1910 (1971).
Приборы и методы физического металловедения. Под ред. Вейнберга. Вып. 1,М. : Мир, 1973, с. 216 – 217.
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2019 Науковий вісник Ужгородського університету. Серія Фізика
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).
