Дослідження плівок оксиду цинку методами електронної і атомносилової мікроскопії та спектральної еліпсометрії

Автор(и)

  • Л. В. Поперенко Київський національний університет імені Тараса Шевченка, фізичний факультет, Україна
  • М. В. Раков Київський національний університет імені Тараса Шевченка, фізичний факультет, Україна
  • В. М. Ткач Інститут надтвердих матеріалів НАНУ імені Бакуля, Україна
  • І. В. Юргелевич Київський національний університет імені Тараса Шевченка, фізичний факультет, Україна

DOI:

https://doi.org/10.24144/2415-8038.2009.24.166-170

Анотація

В цій статті описано мотивацію для дослідження оптичних властивостей плівок ZnО. Методом спектральної еліпсометрії визначено спектральні залежності еліпсометричних параметрів плівок. Методами растрово-електронної (РЕМ) та атомносилової (АСМ) мікроскопії отримано дані про структуру і шорсткість поверхонь плівок. Зроблено деякі висновки про властивості досліджуваних плівок.

Посилання

Борбат А.М., Горбань И.С., Охрименко Б.А., Суббота-Мельник П.А., Шайкевич И.А., Шишловский А.А. Оптические измерения. (Техшка, Киев, 1967) — 418 с.

Klaus Ellmer, Andreas Klein, Bemd Rech “Transparent conductive zinc oxide: Basics And Applications In Thin Film Solar Cells” (Springer, 2008) - 446 p.

Основы эллипсометрии. Под редакцией А. В. Ржанова. (Наука, Новосибирск, 1979). - 422 с.

##submission.downloads##

Опубліковано

2009-06-30

Номер

Том 24 (2009)

Розділ

Статті

Ліцензія

Авторське право (c) 2009 Науковий вісник Ужгородського університету. Серія Фізика

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:
    1. Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
    2. Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
    3. Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).