Эллипсометрическое исследование оптической однородности тонких пленок халькогенидного стекла
DOI:
https://doi.org/10.24144/2415-8038.2004.16.59-66Ключевые слова:
Модель однородной изотропной пленки, Модель неоднородной по толщине пленки, Эллипсометрические измерения, Оптические константыАннотация
В рамках двух подходов - модели однородной изотропной пленки и модели неоднородной по толщине пленки, профиль показателя преломления которой аппроксимирован тремя изотропными однородными слоями, на основе эллипсометрических измерений рассчитывались оптические константы тонких пленок стекловидного As2S3 различной толщины. Показано, что более адекватной является вторая модель.Библиографические ссылки
М.Борн, Э.Вольф, Основы оптики (Наука, Москва, 1973).
Р.Аззам, Н.Башара, Эллипсометрия и поляризованный свет (Мир, Москва, 1981).
В.М. Жихарєв, М.І. Козак, М.Ю. Бобик, І.Д. Сейковський, Вісник Ужгородського університету. Сер. Фізика, в. 15, 2004.
I. Ohlidal, D. Franta, M. Frumar, J. Jedelsky, J. Omasta, JOAM, 2004.
Загрузки
Опубликован
2004-12-31
Выпуск
Раздел
Статті
Лицензия
Copyright (c) 2004 Научный вестник Ужгородского университета. Серия Физика
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NonCommercial-NoDerivatives» («Атрибуция — Некоммерческое использование — Без производных произведений») 4.0 Всемирная.
Авторы, публикующиеся в данном журнале, соглашаются со следующими условиями:- Авторы сохраняют за собой права на авторство своей работы и предоставляют журналу право первой публикации этой работы на условиях лицензии Creative Commons Attribution License, которая позволяет другим лицам свободно распространять опубликованную работу с обязательной ссылокой на авторов оригинальной работы и оригинальную публикацию в этом журнале.
- Авторы сохраняют право заключать отдельные договора на неэксклюзивное распространение работы в том виде, в котором она была опубликована этим журналом (например, размещать работу в электронном архиве учреждения или публиковать в составе монографии), с условием сохраниения ссылки на оригинальную публикацию в этом журнале.
- Политика журнала разрешает и поощряет размещение авторами в сети Интернет (например в институтском хранилище или на персональном сайте) рукописи работы как до ее подачи в редакцию, так и во время ее редакционной обработки, так как это способствует продуктивной научной дискуссии и положительно сказывается на оперативности и динамике цитирования статьи (см. The Effect of Open Access).
