Еліпсометричне дослідження оптичної однорідності тонких плівок халькогенідного скла As<sub>2</sub>S<sub>3</sub>
DOI:
https://doi.org/10.24144/2415-8038.2004.16.59-66Ключові слова:
Модель однорідної ізотропної плівки, Модель неоднорідної по товщині плівки, Еліпсометричні вимірювання, Оптичні константиАнотація
В рамках двох підходів – моделі однорідної ізотропної плівки та моделі неоднорідної по товщині плівки, профіль показника заломлення якої апроксимовано трьома ізотропними однорідними шарами, на основі еліпсометричних вимірювань розраховувались оптичні константи тонких плівок склоподібного As2S3 різної товщини. Показано, що більш адекватною являється друга модель.
Посилання
М.Борн, Э.Вольф, Основы оптики (Наука, Москва, 1973).
Р.Аззам, Н.Башара, Эллипсометрия и поляризованный свет (Мир, Москва, 1981).
В.М. Жихарєв, М.І. Козак, М.Ю. Бобик, І.Д. Сейковський, Вісник Ужгородського університету. Сер. Фізика, в. 15, 2004.
I. Ohlidal, D. Franta, M. Frumar, J. Jedelsky, J. Omasta, JOAM, 2004.
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2004 Науковий вісник Ужгородського університету. Серія Фізика
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).
