Вивчення морфології поверхонь епітаксійних плівок телуриду свинцю, легованих германієм, галієм та індієм.

Автор(и)

  • S. V. Trushkin інститут проблем матеріалознавства НАН України, Україна
  • P. M. Lytvyn інститут фізики напівпровідників НААН України, Україна

DOI:

https://doi.org/10.24144/2415-8038.2001.10.79-84

Анотація

Використовуючи дотикову моду атомного силового мікроскопу (ACM) Nanoscope ІIIа, було вивчено морфологію поверхонь епітахсійних шарів РЬТе, легованих Ge, Ga та In. Ріст усіх плівок був пошаровим, який з підвищенням температури джерела набував звивистого типу. На поверхнях росту досліджених плівок спостерігалося виділення фаз компонент, що, напевно, відігравали роль гетерів легуючих домішок. Просуваючись по поверхні епітаксійного шару, вони, вірогідно залишають за собою слід, змінюючи склад плівки та утворюючи в такий спосіб квантові дроти.

Оскільки технологічними параметрами вирощування епітаксійних шарів можна регулювати густину та склад гетерів, то ефект утворення останніх можна розглядати як прототип технології формування квантових дротів з наперед заданими параметрами.

Посилання

D.M.Freik, M.A.Galushchak, L.I.Mezhilovskaya. Physics and Technology of Semiconductor Films (Vyshcha Shkola, Lviv, 1988) [In Russian].

K.Yagi, H.Minoda, M.Degawa, Surface Science Reports 43, 51 (2001).

G.Springholz, N. Frank, G. Bauer. Thin Sol. Films, 267, 15 (1995).

l.N.Stranski, A.Von.Krastanow, Acad. Wiss. lit. Mainz Math.-Natur. Kl. lib 346, 797(1939).

##submission.downloads##

Опубліковано

2001-12-31

Номер

Розділ

Статті