Изучение морфологии поверхностей эпитаксиальных пленок теллурида свинца, легированных германием, галлием и индием.

Авторы

  • S. V. Trushkin институт проблем материаловедения НАН Украины, Ukraine
  • P. M. Lytvyn институт физики полупроводников НААН Украины, Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.24144/2415-8038.2001.10.79-84

Аннотация

Используя осязательную моду атомного силового микроскопа (ACM) Nanoscope ИIIа, было изучено морфологию поверхности эпитаксиальных слоев РЬТе, легированных Ge, Ga и In. Рост всех пленок был послойным, который с повышением температуры источника приобретал извилистого типа. На поверхностях роста исследованных пленок наблюдалось выделение фаз компонент, что, наверное, играли роль гетер легирующих примесей. Продвигаясь по поверхности эпитаксиального слоя, они, вероятно оставляют за собой след, изменяя состав пленки и образуя таким образом квантовые провода.

Поскольку технологическими параметрами выращивания эпитаксиальных слоев можно регулировать плотность и состав гетеры, то эффект образования последних можно рассматривать как прототип технологии формирования квантовых проволок с заданными параметрами.

Библиографические ссылки

D.M.Freik, M.A.Galushchak, L.I.Mezhilovskaya. Physics and Technology of Semiconductor Films (Vyshcha Shkola, Lviv, 1988) [In Russian].

K.Yagi, H.Minoda, M.Degawa, Surface Science Reports 43, 51 (2001).

G.Springholz, N. Frank, G. Bauer. Thin Sol. Films, 267, 15 (1995).

l.N.Stranski, A.Von.Krastanow, Acad. Wiss. lit. Mainz Math.-Natur. Kl. lib 346, 797(1939).

Загрузки

Опубликован

2001-12-31

Выпуск

Раздел

Статті