Про можливість напилення періодичних структур цугом наносекундних лазерних імпульсів

Автор(и)

  • І. І. Опачко Ужгородський національний університет, Україна

DOI:

https://doi.org/10.24144/2415-8038.1999.5.50-55

Ключові слова:

Структура, напилення, наносекунда, лазер

Анотація

В роботі експерементально показана можливість реалізації запропонованого режиму напилення тонкошарових періодичнихх структур з компонент лазерної плазми. Процес напилення здійснюється з факелів, створених на різних мішенях цугом лазерних імпульсів. Експериментально підтвердженний критерій, який дає змогу забезпечити безфракційний "вибуховий" режим випаровування мішеней і отримувати багатошарові структури з різкими міжшаровими межами.

Посилання

Гапонов С.В., Лускин Б.М., Салащенко Н.Н. Способ изготовления эпитаксиальных пленочных структур //Авт. свидет. СССР №791114, 1981.

Запесочный И.П., Опачко И.И., Маслюк В.Т. Способ создания периодических структур // Авт. свидет. СССР №220907, 1985.

Опачко И И // Наукові праці ІЕФ-96,-Ужгород.-"Патент",-1996.-с.207-210.

Дьюли У. в кн. Лазерная технология и анализ материалов // Москва.-"Мир",-1986.-c.502.

Афанасьев Ю.В., Крохин О.Н. "Физика высоких энергий",- Москва.-"Мир".-1974.-с.31 1-353.

Быковский Ю.А., Дудоладов А.Г., Козленков В.П. и др. Письма в ЖЭТФ.-1974.-№20.-с. 304-306.

Опачко И.И., Лукша О.В., Запесочный И.П. и др // УФЖ.-1977,- №4. -с.659-663.

Дробнич В.Г., Опачко И.И., Евдокимов С.А. и др Сб. "Вторичная ионная и ионно-фотонная эмиссия". Сб. тезисов докл. Всес. Семинара. -Харьков. - 1980. -с. 113-114.

##submission.downloads##

Опубліковано

1999-12-31

Номер

Том 5 (1999)

Розділ

Статті

Ліцензія

Авторське право (c) 1999 Науковий вісник Ужгородського університету. Серія Фізика

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:
    1. Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
    2. Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
    3. Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).