Виникнення просторово-періодичних дисипативних структур щільності точкових дефектів і кисневих преципітатів що опромінюється кремнії

Автор(и)

  • П. А. Селищев Київський національний університет імені Тараса Шевченка, Україна

DOI:

https://doi.org/10.24144/2415-8038.1999.5.105-110

Ключові слова:

кремній, кінетика, дисипативні структури

Анотація

Розглядається кінетика утворення кисневих термодонорів, коли атомарно розчинений кисень утворює зв’язані стани (комплекси). Отримано аналітичне рішення відповідних нелінійних рівнянь кінетики. Показано, що завдяки взаємодії між атомами кисню однорідний розподіл їх та їх комплексів для певних параметрів стає нестійким і розвивається просторово-періодична дисипативна структура густини атомів кисню. Її період дорівнює 10 - 1000 Л.

Посилання

Николис Г., Пригожин И. Самоорганизация в неравновесных системах. М., ”Мир”, 1980, 406 с.

Антонова И.В., Мисюк А., Попов В.П., Шаймеев С.С. ФТП, 31, вып. 8 998 (1997).

Баграев Н.Т., Витовский Н.А., Власенко Л.С., Машовец Е.В., Рахимов О. ФТП,. 17, вып. 11 1979 (1983).

Павлов П.В., Пашков В.И., Чигиринская Т.Ю. Письма в ЖТФ, 13, вып.4 57 (1989).

Колковский И.И., Лукьяница В.В. ФТП, 31, вып.4 405 (1997).

Мясников М.А., Ободников В.И., Серяпин В.Г., Фомин Б.И., Черепов Е.И. ФТП, 31, вып. 3 338 (1997)

Степанов М.Г., Потапов А.Б., Малинецкий Г.Г. Образование, имплантированном бором. ( Препринт Ин-т прикладной математики РАН -1997. -№ 69).

Kaiser W., Frish H.L. and Reiss H. Phys.Rev.,112, № 5 1546 (1958).

Бабич B.M., Блецкан Н.И., Венгер Е.Ф. Кислород в монокристаллах кремния. Київ “Інтерпррес ЛДТ”, 1997, 240 с.

Selishchev Р.А. Development of periodical spatial distribution of donor states in heat-treated silicon. Proceedings of the Second International Conference on Modeling and Simulation of Microsystems. April 19-21, 1999, Puerto Rico, USA. P.69-70.

Конозенко И.Д., Семенюк A.K., Хиврич В.И. Радиационные эффекты в кремнии. Киев, “Наукова думка”, 1974, 199 с,

Кривоглаз М.А. Дифракция рентгеновских лучей и нейтронов в неидеальных кристаллах (Киев: Наукова думка, 1983).

Кабалдін А.Н., Неймаш В.Б., Цмоць В.М., Шпінар Л.І. УФЖ, 40. № 10 1079 (1995).

##submission.downloads##

Опубліковано

1999-12-31

Номер

Розділ

Статті