Швидкість вакуумного осадження та оптична якість плівок As<sub>2</sub>S<sub>3</sub>
DOI:
https://doi.org/10.24144/2415-8038.2015.37.89-97Ключові слова:
Вакуумне випаровування, плівка As2S3, показник заломлення, еліпсометріяАнотація
Методом еліпсометрії проведено дослідження якості та комплексного показника заломлення плівок As2S3, одержаних вакуумним випаровуванням при різних швидкостях їх осадження на підкладку.
Посилання
Эллипсометрия: теория, методы, приложения (материалы конференции, 9-11 июля 1985 г.). / Отв.ред. Ржанов А.В., Ильина Л.А. – Новосибирск: Наука, 1987. – 191 с.
Швец В.А., Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В., Михайлов Н.Н. Эллипсометрия – прецизионный метод контроля тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением // Российские нанотехнологии. – 2009. – Т.4, №3-4. – С.72-84.
Михайлов Н.Н., Сидоров. Ю.Г., Дворецкий С.А. и др. Изучение процессов адсорбции и десорбции теллура на поверхности CdTe методом эллипсометрии // Автометрия. – 2000.– №4.– С.124.
Рыхлицкий С.В., Швец В.А., Спесивцев Е.В., Михайлов Н.Н. Эллипсометрия физико-химических процессов на межфазных границах // Конденсированные среды и межфазные границы. – 2006. – Т.8, №4. – С.327.
Урывский Ю.И. Эллипсометрия. – Воронеж: изд-во ВГУ, 1971. – 131 с.
Поперенко Л.В., Стащук В.С., Шайкевич І.А., Одарич В.А. Діагностика поверхні поляризованим світлом: Монографія. – К.: ВПЦ “Київський університет”, 2007. – 336 с.
Азаам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. – Москва: Мир, 1981. – 583 с.
Жихарєв В.М., Козак М.І., Бобик М.Ю., Сейковський І.Д. Еліпсометричні дослідження оптичних констант легованого і опроміненого халькогенідного скла As2S3 // Наук. вісник УжНУ. Серія Фізика. – 2004.– Вип.16. – С. 31-37.
Назаренко И.Н., Дорофеев Д.Л. Решение обратной задачи эллипсометрии для слоя с изменяющимся по толщине комплексным показателем преломления // Вестник Воронежского государственного университета. Серия химия, биология. – 2001. – № 1. – С.164–169.
Половинкин В.Г., Свиташева С.Н. Определение числа решений обратной задачи эллипсометрии в заданной области параметров // Автометрия. – 1999. – № 4. – С. 94–104.
Коструба А.М., Влох О.Г. Комплексный метод определения трех параметров поглощающих тонких пленок //Спектроскопия твердого тела. – 1996. – Т.80, №6. – С. 920–924.
Дагман Э.Е. Полное решение обратной задачи эллипсометрии для однослойной системы при вариации толщины и угла падения света // Оптика и спектроскопия. – 1988. – Т.65, Вып.5. – С. 1150–1155.
Козак М.И., Биланич Р.М., Жихарев В.Н. Эллипсометрическое исследование оптических параметров сегнетоэлектрических твердых растворов (PbуSn1-y)2P2S6 //Наук. вісник УжНУ. Серія Фізика. –2013.–Вип.34. – С. 28-33.
Жихарєв В.М., Козак М.І., Сейковський І.Д. Еліпсометричне дослідження оптичної однорідності тонких плівок халькогенідного скла As2S3 // Наук. вісник УжНУ. Серія Фізика. –2004. – Вип.16. – С. 59-66.
Козак М.И., Жихарев В.Н., Лоя В.Ю., Студеняк И.П., Шпак И.И., Турок И.И. Эллипсометрическое исследование релаксационных изменений оптических констант и степени неоднородности тонких пленок стеклообразного As2S3 //Письма в ЖТФ. –2006. –Т.32. –Вып.10. –С.82-87.
Козак М. И., Жихарев В. Н., Студеняк И. П., Сейковский И. Д. Эллипсометрическое определение оптических констант тонких пленок стеклообразного As2S3 в области слабого поглощения // Опт. и спектр. –2006. –Т.101.–№4.–С.604-606.
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2015 Науковий вісник Ужгородського університету. Серія Фізика
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).
