Сопоставление физико-химических свойств нитридных пленок, полученных разными методами реактивного распыления

Авторы

  • Наталья Афанасьевна Василенко Институт химических технологий Восточно-украинского национального университета имени Владимира Даля Молодежный квартал, 20, А, г. Луганск, Украина, 91034, Ukraine https://orcid.org/0000-0002-5897-6917
  • Алексей Олегович Василенко Донецкий национальный университет ул. Университетская, 24, Донецк, Донецкая, Украина, 83000, Ukraine https://orcid.org/0000-0003-2506-5719

Ключевые слова:

ионная имплантация, конденсация и ионная бомбардировка, нитрид, физико-химические свойства

Аннотация

Повышение физических, механических и химических характеристик тонких нитридных пленок зависит от методов их осаждения и усовершенствования структуры, которая и определяет получаемые свойства. Методом ионной имплантации и конденсации и ионной бомбардировки получены пленки нитридов на подложках Ti, Ta, W, Mo, Ni, Si (111) и NaCl (100), изучены их физические, электрические, химические характеристики. 

Биографии авторов

Наталья Афанасьевна Василенко, Институт химических технологий Восточно-украинского национального университета имени Владимира Даля Молодежный квартал, 20, А, г. Луганск, Украина, 91034

Кандидат физико-математических наук, доцент, зав. кафедрой

Кафедра общей физики и технической механики

Алексей Олегович Василенко, Донецкий национальный университет ул. Университетская, 24, Донецк, Донецкая, Украина, 83000

Студент 2-го курса гр. Ф-2

Кафедра «Нанофизика», физико-итехнический факультет

Библиографические ссылки

Технология тонких плёнок [Текст] : справочник под ред. Л. Майcсела, Р. Глэнга. Пер. с англ. - М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко - Т. 1. М. «Сов. Радио» - 1977 - 664 с. 2. Дисперсность наращиваемых пленок химических соединений [Текст] : научно-техническая конференция «Технология 2001» / Н. А. Василенко - Северодонецк, 2001 – с. 89 – 92. 3. О дисперсности пленочных продуктов твердофазных реакций [Текст] : VIII Мiжнародна конференцiя з фiзики i технологiї тонких плiвок ISPTTF - VIII. Матер. конф. / П. И. Игнатенко, Н. А. Василенко, Д. Н. Терпий - Iвано-Франкiвськ, 2001 – С. 172 – 173 4. Андриевский, Р.А. Синтез и свойства пленок фаз внедрения [Текст] / Р.А. Андриевский // Успехи химии – 1997 - 66(1) - с. 57 –76. 5. Андриевский, Р. А. Структура и физико-механические свойства наноструктурных боридонитридных пленок [Текст] / Р. А. Андриевский, Г. В. Калинников, Н. П. Кобелев // Физика твердого тела – 1997 - т. 39, №10. с. 1859 - 1864. 6. Ионная имплантация [Текст] / под ред. Дж. К. Хирвонена - М.: Металлургия, 1985.- 392с. 7. Ионная имплантация катализаторов// Тонкие пленки в электронике [Текст] : доклады 8-го международного симпозиума (22-24 апреля 1997) / И. П. Васильев, В. Н. Злобин, В. И. Бондаренко - Харьков, (Тр. укр. вакуумного общества), 1997 - т.3 - с. 70-72. 8. Игнатенко, П. И. Структура, кинетика роста и свойства пленок, полученных на (111) Si, (100) NaCl методом ионной имплантации [Текст] / П. И. Игнатенко, Н. А. Кляхина, М. Ю. Бадекин // ФиХОМ – 2003 - №2 – с. 66 – 69. 9. Аксенов, И. И. Об условиях протекания химических реакций при конденсации потоков металлической плазмы [Текст] / И. И. Аксенов, В. Г. Брень, В. Г. Падалка, В. М. Хороших // ЖТФ – 1978 - т.48 - №6 - с. 1165 – 1169. 10. Игнатенко, П. И. Стуктура и свойства пленок, полученных методом конденсации и ионной бомбардировки на подложках из Si, Ta, Ti, Mo, W, Ni [Текст] / П. И. Игнатенко, Н. А. Кляхина, М. Ю. Бадекин // Неорганические материалы – 2005 - т.41 - №2 - с. 193 – 196. 1. Majcsela, L. Gljenga R. (1977). Tehnologija tonkih pljonok : spravochnik Per. s angl. M. I. Elinsona, G. G. Smolko. T. 1. M. «Sov. Radio», 664 s. 2. Vasilenko, N. A. (2001). Dispersnost' narashhivaemyh plenok himicheskih soedinenij. Nauchno-tehnicheskaja konferencija «Tehnologija 2001», Severodoneck, 89 – 92. 3. Ignatenko, P. I., Vasilenko, N. A., Terpij, D. N. (2001). O dispersnosti plenochnyh produktov tverdofaznyh reakcij. VIII Mizhnarodna konferencija z fiziki i tehnologiї tonkih plivok ISPTTF - VIII. Mater. konf, Ivano-Frankivs'k, 172 – 173. 4. Andrievskij, R. A. (1997). Sintez i svojstva plenok faz vnedrenija. Uspehi himii, 66(1), 57 –76. 5. Andrievskij, R. A. Kalinnikov, G. V.,0 Kobelev. N. P. (1997). Struktura i fiziko-mehanicheskie svojstva nanostrukturnyh boridonitridnyh plenok. Fizika tverdogo tela, 39, №10, 1859 - 1864. 6. Hirvonen, Dzh. K. (1985). Ionnaja implantacija. M.: Metallurgija, 392. 7. Vasil'ev, I. P., Zlobin, V. N., Bondarenko, V. I. (1997). Ionnaja implantacija katalizatorov. Tonkie plenki v jelektronike. Doklady 8-go mezhdunarodnogo simpoziuma (22-24 aprelja 1997), Har'kov, (Tr. ukr. vakuumnogo obshhestva), t.3, 70-72. 8. Ignatenko, P. I., Kljahina, N. A., Badekin, M. Ju. (2003). Struktura, kinetika rosta i svojstva plenok, poluchennyh na (111) Si, (100) NaCl metodom ionnoj implantacii. FiHOM, №2, 66 – 69. 9. Aksenov, I. I. Bren', V. G., Padalka, V. G., Horoshih, V. M. (1978). Ob uslovijah protekanija himicheskih reakcij pri kondensacii potokov metallicheskoj plazmy. ZhTF, 48. №6, 1165 – 1169. 10. Ignatenko, P. I., Kljahina, N. A., Badekin, M. Ju. (2005). Stuktura i svojstva plenok, poluchennyh metodom kondensacii i ionnoj bombardirovki na podlozhkah iz Si, Ta, Ti, Mo, W, Ni. Neorganicheskie materially, 41, №2, 193 – 196.

Загрузки

Опубликован

2014-01-10

Выпуск

Том 16 № 5 (2013)

Раздел

Материаловедение в машиностроении

Лицензия

Copyright (c) 2015 Наталья Афанасьевна Василенко, Алексей Олегович Василенко

Лицензия Creative Commons

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NoDerivatives» («Атрибуция — Без производных произведений») 4.0 Всемирная.

Авторы, публикующиеся в этом  журнале, соглашаются со следующими условиями:

  • Авторы оставляют за собой право на авторство своей работы и передают журналу право первой публикации этой работы на условиях лицензионного  договора (соглашения).
  • Авторы имеют право заключать самостоятельно дополнительные договора (соглашения) о неэксклюзивном распространении работы в том виде, в котором она была опубликована этим журналом (например, размещать работу в электронном хранилище учреждения или публиковать в составе монографии), при условии сохранения ссылки на первую публикацию работы в этом журнале.
  • Политика журнала позволяет размещение авторами в сети Интернет (например, в хранилищах учреждения или на персональных веб-сайтах) рукописи работы, как до подачи этой рукописи в редакцию, так и во время ее редакционной обработки, поскольку это способствует возникновению продуктивной научной дискуссии и позитивно отражается на оперативности и динамике цитирования опубликованной работы (см. The Effect of Open Access).