Мас-спектри парових потоків при випаровуванні матеріалів системи As-S та їх роль у формуванні аморфних плівок
DOI:
https://doi.org/10.24144/2415-8038.2012.31.79-85Ключові слова:
Мас-спектри, Аморфні плівки, ХалькогенідиАнотація
Проаналізовано закономірності зміни мас-спектрів парових потоків при термічному випаровуванні матеріалів системи As-S у різних технологічних умовах. Встановлено визначальну роль багатоатомних комплексів пари у процесах формування структури аморфних плівок сульфідів миш’яку.
Посилання
Тонкие поликристаллические и аморфные пленки: Физика и применение / Пер. с анг. – М.: Мир, 1983. – 304 с.
Іваницький В.П. Механізми формування стохастично неоднорідної структури аморфних халькогенідів. Автореф. дис. на здобуття наук. ступеня доктора фіз.-мат. наук. – Х., 2008. – 34 с.
Семенов Г.А., Николаев Е.Н., Францева К.Е. Применение масс-спектрометрии в неорганической химии. – Л.: Химия, 1976. – 151 с.
Chern G.C., Zauks J., McGhie A.R. Spin-coated amorphous chalcogenide films: thermal properties // J. Applied Physics., 1983. – V.54. – №8. – P. 4596-4601.
Русин А.Д. Определение энтальпий испарения и энтальпий независимых реакций по давлению насыщенного пара. Равновесия в парах серы // Вестник МГУ: Химия. – 1990. – Т.31, №1. – С. 3-7.
Нисельсон Л.А., Гасанов А.А., Ярошевский А.Г. Давление насыщенного пара над жидким и кристаллическим мышьяком // Доклады АН СССР. – 1990. – Т.314, №5. – С. 1166-1168.
Martin T.P. Arsenic sulfide clusters // Solid state commun. – 1983. – V.47. – №2. – P. 111-114.
Пашинкин А.С., Изергин А.А., Ами-ров Р.А. и др. Давление насыщенного пара и теплота образования As4S4 // Неорганические материалы.– 1982. – Т.18. – №8. – С. 1253-1256.
Perino S.C., Helms C.R. Identification of arsenic surface species on the Si (001) surface // Grain boundaries semiconductors: Proc. mater. res. soc. annu. meet. – New York, 1982. – P. 147-151.
Popescu A. Structure modelling of chalcogenide vitreous films by computational chemistry program // Moldavian J. of physical sciences. – 2002. – №2.
Фельц А. Аморфные и стеклообразные неорганические твердые тела: Пер. с нем. – М.: Мир, 1986. – 558 с.
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2012 Науковий вісник Ужгородського університету. Серія Фізика
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).
