Моделирование ион-атомных взаимо-действий при корпускулярной бомбар-дировке поверхности стальных образ-цов

Автор(и)

  • Виталий Викторович Гончаров Інститут хімічних технологій (м. Рубіжне) Східноукраїнського національного університету імені Володимира Даля вул. Леніна, 31, м. Рубіжне, Луганська область, Україна, 93009, Україна
  • С. В. Мащенко Інститут хімічних технологій (м. Рубіжне) Східноукраїнського національного університету імені Володимира Даля вул. Леніна, 31, м. Рубіжне, Луганська область, Україна, 93009, Україна https://orcid.org/0000-0002-1314-1748
  • А. А. Черный Інститут хімічних технологій (м. Рубіжне) Східноукраїнського національного університету імені Володимира Даля вул. Леніна, 31, м. Рубіжне, Луганська область, Україна, 93009, Україна https://orcid.org/0000-0001-8487-6066

Ключові слова:

іонна імплантація, комп’ютерна модель, імплантати, нейронні мережі

Анотація

Наведено результати моделювання іонної імплантації за допомогою створеної авторами програми "RIO" і нейронних мереж. Порівняння отриманих даних з реальними зразками показало високу точність зазначених методів при розрахунку параметрів геометрії поверхні, що свідчить про перспективність їх використання для прогнозування і контролю результатів іонної обробки з метою отримання необхідних характеристик імплантатів

Біографії авторів

Виталий Викторович Гончаров, Інститут хімічних технологій (м. Рубіжне) Східноукраїнського національного університету імені Володимира Даля вул. Леніна, 31, м. Рубіжне, Луганська область, Україна, 93009

Кандидат хімічних наук, доцент

Кафедра загальної фізики та технічної механіки

А. А. Черный, Інститут хімічних технологій (м. Рубіжне) Східноукраїнського національного університету імені Володимира Даля вул. Леніна, 31, м. Рубіжне, Луганська область, Україна, 93009

Кандидат хімічних наук

Посилання

Begrambekov, L., B. (2001). Modifikatsiya poverkhnosti tverdykh tel pri ionnom i plazmennom vozdeystvii. Moscow, Moskovskiy inzhenerno-fizicheskiy institute: 34.

Val'dner, V., O, et al. (1987). “Vliyaniye nizkoenergeticheskoy implantatsii na mekhanicheskiye svoystva splavov titana i zheleza.” Fizika i khimiya obrabotki materialov 2: 18-24.

Kosterin, K., V. (1995). “Raspyleniye tverdykh tel ionnoy bombardirovkoy: adatomnyye mekhanizmy i vozmozhnaya rol' fononov.” Fizika i khimiya obrabotki materialov 3: 43 48.

Belous, V., A., G. I. Nosov and N.A. Azarenkov (2010). “O vliyanii oblucheniya ionami Ar+ na korrozionnuyu stoykost' metallov i splavov.” Fizicheskaya inzheneriya poverkhnosti 2(8): 161-168.

Vital'skiy, D., V. (2007). Modifikatsiya i ekspluatatsionnyye svoystva poverkhnostey detaley mashin i instrumentov pri ionnoy implantatsii azota: dis. ... kand. tekh. naukTula: 137.

Nikitin, A., A. (1986). “Ionnaya implantatsiya – effektivnyy metod izmeneniya svoystv poverkhnosti metallov i splavov.” Byulleten' Tsentral'nogo nauchno-issledovatel'skogo instituta chermeta 23: 9-18.

Kalin, B., A. (2001). “Radiatsionno-puchkovyye tekhnologii obrabotki konstruktsionnykh materialov.” Fizika i khimiya obrabotki materialov 4: 5-16.

Goncharov, V., V. and V. O. Zazhigalov (2012). Sintez nanorazmernykh sloyev aktivnykh metallov na poverkhnosti fol'gi iz nerzhaveyushchey stali. Tezisy dokladov ÍÍÍ Mezhdunarodnoj nauchnoj konferentsiiNanostrukturnyye,Russia.

Zelenskiy, V., F.,I.M. Neklyudov and T. P. Chernyayeva (1988). Radiatsionnyye defekty i raspukhaniye metallov. Kiyev, Naukova dumka: 296.

Khirvonen, Dzh., K. (1985). Ionnaya implantatsiya.Moscow, Metallurgiya: 285.

Boyko, V.,I., B. Ye. Kadlubovich andI.V. Shamanin (1991). “Vliyaniye defektnosti struktury metallov na profil' raspredeleniya vnedrennykh ionov.” Fizika i khimiya obrabotki materialov 3: 56 61.

Nikonenko, V., A. (2001). Matematicheskoye modelirovaniye tekhnologicheskikh protsessov: Modelirovaniye v srede MathCAD. Praktikum.Moscow, Moskovskiy institut stali i splavov: 48.

Bobyl', A., V. and S. F. Karmanenko (2005). Fiziko-khimicheskiye osnovy tekhnologii poluprovodnikov. Puchkovyye i plazmennyye protsessy v planarnoy tekhnologii: Ucheb. Posobiye. Sankt-Peterburg, Izdatelstvo Politekhnicheskogo universiteta: 113.

Fal'kone, D. (1992). “Teoriya raspyleniya.” Uspekhi fizicheskikh nauk 1(162): 71-117.

Berish, R. (1986). Raspyleniye tverdykh tel ionnoy bombardirovkoy.Moscow, Mir: 488.

Keywell, F. (1955). “Measurements and Collision–Radiation Damage Theory of High-Vacuum Sputtering.” Phys. Rev. 6(97): 1611-1619.

Antonetti, D. et al. (1988). MOP-SBIS. Modelirovaniye elementov i tekhnologicheskikh protsessov.Moscow, Radio i svyaz': 496.

PARTICLE INTERACTIONS WITH MATTER. Web-site James F. Ziegler: http://www.srim.org/SRIM/SRIMLEGL.htm.

Dudognon, J., M. Vayer, A. Pineau and R. Erre (2008). “Grazing incidence X-ray diffraction spectra analysis of expanded austenite for implanted stainless steel.” Surface & Coating Technology 20(202): 5048 – 5054.

Dudognon, J., M. Vayer, A. Pineau and R. Erre (2006). “Modelling of grazing incidence X-ray diffraction spectra from Mo-implanted stainless steel. Comparison with experimental data.” Surface & Coating Technology 200: 5058 – 5066.

Pout, Dzh., K. Tu and Dzh. Meyyer (1982). Tonkiye plenki – vzaimnaya diffuziya i reaktsii.Moscow, Mir: 576.

Khass, G. and R. E. Tun (1968). Fizika tonkikh plenok: sovremennoye sostoyaniye issledovaniy i tekhnicheskiye primeneniya.Moscow, Mir: 331.

Wu, Zhongzhen, Xiubo Tian, Chunzhi Gong, Shiqin Yang and Paul K. Chu. (2013). “Micrograph and structure of CrN films prepared by plasma immersion ion implantation and deposition using HPPMS plasma source.” Surface & Coating Technology 25(229): 210 ‑ 216.

Liu, Hongxi, Qian Xu, Xiaowei Zhang, Chuanqi Wang and Baoyin Tang (2013). “Residual stress analysis of TiN film fabricated by plasma immersion ion implantation and deposition process.” Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 15(297): 1 - 6.

Liu, Hongxi, Qian Xu, Chuanqi Wang, Xiaowei Zhang and Baoyin Tang (2013). “Investigating the microstructure and mechanical behaviors of DLC films on AISI52100 bearing steel surface fabricated by plasma immersion ion implantation and deposition.” Surface & Coating Technology 15(228): 159 ‑ 163.

Gwyddion. Free SPM (AFM, SNOM/NSOM, STM, MFM, …) data analysis software: http://gwyddion.net/

##submission.downloads##

Опубліковано

2014-12-30

Номер

Том 17 № 4 (2014)

Розділ

Високі технології в машинобудуванні

Ліцензія

Авторське право (c) 2015 Виталий Викторович Гончаров, С. В. Мащенко, А. А. Черный

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NoDerivatives 4.0 International License.

Автори, які публікуються в цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:

  • Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи і передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензійного договору (угоди).
  • Автори мають право самостійно укладати додаткові договори (угоди) з неексклюзивного поширення роботи в тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати в складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи в цьому журналі.
  • Політика журналу дозволяє розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установи або на персональних веб-сайтах) рукопису роботи як до подачі цього рукопису в редакцію, так і під час її редакційної обробки, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії і позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).