Аналіз специфіки побудови напівпровідникового вібраційно-частотного сенсора
DOI:
https://doi.org/10.15587/2313-8416.2018.143414Ключові слова:
напівпровідник, ниткоподібний монокристал, тензоперетворювач, резонатор, частота, чутливий елемент, тензосигнал, деформаціяАнотація
Описана модель тензорезистивного способу прямого перетворення механічних коливань напівпровідникового монокристала в електричний сигнал і принцип побудови перетворювача (сенсора) деформації в частоту. Встановлено зв’язки параметрів вихідного тензосигналу з власними геометричними розмірами резонатора механічним напруженням та пружністю кристалів, амплітудою і частотою їх механічних коливань. Оцінено величину тензосигналу, який виникає внаслідок згину і розтягу монокристалів в умовах циклічних навантажень, виявлено специфіку їх властивостей і структури
Посилання
Langdon, R. M. (1985). Resonator sensors – a rewiew. Journal of Physics E: Scientific Instruments, 18 (2), 103–115. doi: https://doi.org/10.1088/0022-3735/18/2/002
Haueis, M., Dual, J., Cavalloni, C., Gnielka, M., Buser, R. A. (2000). Packaged bulk micromachined resonant force sensor for high-temperature applications. Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS. doi: https://doi.org/10.1117/12.382278
Remtema, T., Lin, L. (2001). Active frequency tuning for micro resonators by localized thermal stressing effects. Sensors and Actuators A: Physical, 91 (3), 326–332. doi: https://doi.org/10.1016/s0924-4247(01)00603-3
Sviličić, B., Mastropaolo, E., Cheung, R. (2014). A MEMS Filter Based on Ring Resonator with Electrothermal Actuation and Piezoelectric Sensing. Procedia Engineering, 87, 1406–1409. doi: https://doi.org/10.1016/j.proeng.2014.11.706
Zhang, W.-M., Hu, K.-M., Peng, Z.-K., Meng, G. (2015). Tunable Micro- and Nanomechanical Resonators. Sensors, 15 (10), 26478–26566. doi: https://doi.org/10.3390/s151026478
Liu, H., Zhang, C., Weng, Z., Guo, Y., Wang, Z. (2017). Resonance Frequency Readout Circuit for a 900 MHz SAW Device. Sensors, 17 (9), 2131. doi: https://doi.org/10.3390/s17092131
Druzhinin, A., Maryamova, I., Kutrakov, A., Liakh-Kaguy, N. (2011). Silicon whiskers for sensor electronics. Materials of XIII International conference Physics and technology of thin films and nanosystems. Ivano-Frankivsk, 1, 29.
Druzhinin, A., Kutrakov, A., Maryamova, I. (2011). Tensoresistive pressure sensors based on filamentous silicon crystals for a wide range of temperatures. Bulletin of the Lviv Polytechnic National University. Electronics, 708, 64–71.
Rak, V., Baitsar, R. (2007). A random errors estimation of the measuring generator of the resonance sensors. Sensors and systems, 5, 16–21.
Baitsar, R., Rak, V., Zelisko, Y. (2011). A temperature and pressure influence on the output frequency of the measuring generator of the resonance sensor. Measuring equipment and metrology, 72, 88–93.
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2018 Roman Baitsar, Roman Kvit
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Наше видання використовує положення про авторські права Creative Commons CC BY для журналів відкритого доступу.
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:
1. Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons CC BY, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
2. Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
