Optimization of technology of Si-затравок for the production of поликристаллического silicon

Authors

  • Юрий Васильевич Реков Zaporozhe state engineering academy PJC «Factory of semiconductors», Zaporozhe, Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.15587/2312-8372.2012.4727

Keywords:

Silicon, admixtures, float zone melting, hydrogen renewal of silicon chloride

Abstract

In the articles described results of researches of technology of growing of затравок are from silicon (Si-growth) for the process of receipt of poly-silicon of electronic quality. Conformities to the law and thermal terms are studied which provide crystallizations of silicon of, high-quality descriptions of process of hydrogen renewal of chlorides of silicon. The method of implementation of express control of poly-silicon is offered on determination of maintenance of admixture of the coniferous forest

Author Biography

Юрий Васильевич Реков, Zaporozhe state engineering academy PJC «Factory of semiconductors», Zaporozhe

Graduate student

Department of metallurgy of the colored metals

General director

References

  1. Яркин, В.Н. Кремний для солнечной энергетики: конкуренция технологий, влияние рынка, проблемы развития [Текст] / В.Н. Яркин, О.А. Кисарин, Ю.В. Реков, И.Ф. Червоный // Теория и праткика металлургии, 2010. - № 1-2 (74-75). – С. 114-126.
  2. Кисарин, О.А. Трещинообразование в кремниевом стержне большого диаметра [Текст] / О.А. Кисарин, В.Н. Яркин, Ю.В. Реков, И.Ф. Червоный // Металургія. Збірник наукових праць – Запоріжжя: ЗДІА, 2010. – Вип. №21. – С. 125-131.
  3. Кисарин, О.А Исследование термонапряженного состояния массивного кремниевого стержня [Текст] / О.А. Кисарин, В.Н. Яркин, Ю.В. Реков, И.Ф. Червоный // Теория и практика металлургии, 2010. - № 3-4 (74-75). – С. 117-120.
  4. Реков, Ю.В. Экспрессный метод контроля качества кремния [Текст] / Ю.В. Реков, И.Ф. Червоный // Теория и практика металлургии, 2009. - № 5-6 (72-73). – С. 45-48.
  5. Червоный, И.Ф. Влияние технологических режимов выращивания на характеристики кремниевых основ для водородного восстановления трихлорсилана [Текст] / И.Ф. Червоный, Ю.В. Реков, С.Г. Егоров, О.А. Кисарин, Р.Н. Воляр // Металургія. Збірник наукових праць – Запоріжжя: ЗДІА, 2011. Вип. № 23. – С. 135-141.

Downloads

How to Cite

Реков, Ю. В. (2012). Optimization of technology of Si-затравок for the production of поликристаллического silicon. Technology Audit and Production Reserves, 3(1(5), 15–16. https://doi.org/10.15587/2312-8372.2012.4727

Issue

Vol. 3 No. 1(5) (2012): INTERNATIONAL SCIENTIFIC CONFERENCE. Fundamental research

Section

Fundamental research

License

Copyright (c) 2016 Юрий Васильевич Реков

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.

The consolidation and conditions for the transfer of copyright (identification of authorship) is carried out in the License Agreement. In particular, the authors reserve the right to the authorship of their manuscript and transfer the first publication of this work to the journal under the terms of the Creative Commons CC BY license. At the same time, they have the right to conclude on their own additional agreements concerning the non-exclusive distribution of the work in the form in which it was published by this journal, but provided that the link to the first publication of the article in this journal is preserved.