Оптимізація технології Si-затравок для виробництва полікристлічного кремнію

Автор(и)

  • Юрий Васильевич Реков Запорізька державна інженерна академія ПрАТ «Завод напівпровідників», м. Запоріжжя, Україна

DOI:

https://doi.org/10.15587/2312-8372.2012.4727

Ключові слова:

Кремній, домішки, бестигельная зонна плавка, водневе відновлення силанів

Анотація

У статті описані результати досліджень технології вирощування затравок з кремнію (Si-затравок) для процесу отримання полікристалічного кремнію електронної якості. Вивчені закономірності і теплові умови кристалізації кремнію, що забезпечують якісні характеристики процесу водневого відновлення хлоридів кремнію. Запропонована методика виконання експресного контролю полікристалічного кремнію за визначенням змісту домішки бору

Біографія автора

Юрий Васильевич Реков, Запорізька державна інженерна академія ПрАТ «Завод напівпровідників», м. Запоріжжя

Аспірант

Кафедра металургії кольорових металів

Генеральний директор

Посилання

  1. Яркин, В.Н. Кремний для солнечной энергетики: конкуренция технологий, влияние рынка, проблемы развития [Текст] / В.Н. Яркин, О.А. Кисарин, Ю.В. Реков, И.Ф. Червоный // Теория и праткика металлургии, 2010. - № 1-2 (74-75). – С. 114-126.
  2. Кисарин, О.А. Трещинообразование в кремниевом стержне большого диаметра [Текст] / О.А. Кисарин, В.Н. Яркин, Ю.В. Реков, И.Ф. Червоный // Металургія. Збірник наукових праць – Запоріжжя: ЗДІА, 2010. – Вип. №21. – С. 125-131.
  3. Кисарин, О.А Исследование термонапряженного состояния массивного кремниевого стержня [Текст] / О.А. Кисарин, В.Н. Яркин, Ю.В. Реков, И.Ф. Червоный // Теория и практика металлургии, 2010. - № 3-4 (74-75). – С. 117-120.
  4. Реков, Ю.В. Экспрессный метод контроля качества кремния [Текст] / Ю.В. Реков, И.Ф. Червоный // Теория и практика металлургии, 2009. - № 5-6 (72-73). – С. 45-48.
  5. Червоный, И.Ф. Влияние технологических режимов выращивания на характеристики кремниевых основ для водородного восстановления трихлорсилана [Текст] / И.Ф. Червоный, Ю.В. Реков, С.Г. Егоров, О.А. Кисарин, Р.Н. Воляр // Металургія. Збірник наукових праць – Запоріжжя: ЗДІА, 2011. Вип. № 23. – С. 135-141.

##submission.downloads##

Як цитувати

Реков, Ю. В. (2012). Оптимізація технології Si-затравок для виробництва полікристлічного кремнію. Technology Audit and Production Reserves, 3(1(5), 15–16. https://doi.org/10.15587/2312-8372.2012.4727

Номер

Том 3 № 1(5) (2012): МІЖНАРОДНА НАУКОВА КОНФЕРЕНЦІЯ. Фундаментальні дослідження

Розділ

Фундаментальні дослідження

Ліцензія

Авторське право (c) 2016 Технологічний аудит та резерви виробництва

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Закріплення та умови передачі авторських прав (ідентифікація авторства) здійснюється у Ліцензійному договорі. Зокрема, автори залишають за собою право на авторство свого рукопису та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons CC BY. При цьому вони мають право укладати самостійно додаткові угоди, що стосуються неексклюзивного поширення роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом, але за умови збереження посилання на першу публікацію статті в цьому журналі.