About the role of melt movement during of the silicon single crystal growth by FZ method
DOI:
https://doi.org/10.15587/2312-8372.2012.4729Keywords:
Floating-zone melting, melt movementAbstract
In work the conditions of occurrence of convection in the melted zone during growth of silicon single crystals by the floating zone melting method was investigate. It are fix, that streams in the melted zone (thermogravitational, centrifugal, thermocapillary and electrodynamic) influenced on distribution of impurity in the melt and, hence, defined quality of end productionReferences
- Фалькевич, Э.С. Технология полупроводникового кремния [Текст] / Э.С. Фалькевич, Э.О. Пульнер, И.Ф. Червоный и др.; под ред. Э.С. Фалькевича. – М.: Металлургия. – 1992. – 408 с. – Библиогр.: с. 399-407. – 1170 экз. – ISBN 5-229-00740-0.
- Червоний, І.Ф. Напівпровідниковий кремній: теорія і технологія виробництва [Текст] : монографія / І.Ф. Червоний, В.З. Куцова, В.І. Пожуєв та інш.; під ред. І.Ф. Червоного. – 2-ге вид., допрацьоване та перероблене. – Запоріжжя: ЗДІА, 2009. – 488 с. – Библиогр.: с. 446-484. – 300 прим. – ISBN 978-966-8462-24-5.
- Червоный, И.Ф. Применение безразмерных критериев для описания состояния расплава кремния при БЗП [Текст] : сб. трудов ЗГИА / И.Ф. Червоный, С.Г. Егоров, В.О. Масленников // Металлургия. – 2002. – Вып. № 6. – С.90-94.
- Егоров, С.Г. Описание движения расплава кремния при бестигельной зонной плавке [Текст] / С.Г. Егоров, И.Ф. Червоный, Г.А. Колобов, А.П. Никоненко // материалы Международной конференции «Наука о материалах на рубеже веков: Достижения и Перспективы», 4-8 ноября 2002, Киев. – С.143-144.
- Егоров, С.Г. Уменьшение влияния тепловой конвекции на качество монокристаллов кремния [Текст] : зб. праць ЗДІА / С.Г. Егоров, И.Ф. Червоный, Р.Н. Воляр // Металургія. – 2009. – Вип. № 19. – С.81-86.
- Єгоров, С.Г. Вплив потоків в розплаві на розподіл домішки під час безтигельного зонного плавлення [Текст] : зб. праць ЗДІА / С.Г. Єгоров, Е.Я. Швець, І.Ф. Червоний, О.П. Головко // Металургія. – 2005. – Вып. №12. – С.57-62.
- Червоный, И.Ф. К вопросу о взаимосвязи однородности монокристаллов кремния и потоков расплава в процессе БЗП [Текст] / И.Ф. Червоный, С.Г. Егоров, Е.Я. Швец // материалы Международной конференции «Стратегия качества в промышленности и образовании», 3-10 июня 2005, Варна, Болгария. – С.129-130.
- Егоров, С.Г. Исследование электромагнитных полей плавильного и подогревающего индукторов при бестигельной зонной плавке [Текст] / С.Г. Егоров, И.Ф. Червоный, Е.Я. Швец // Современная электрометаллургия. – № 2. – 2003. – С.34-36.
- Червоный, И.Ф. Магнитное поле плавильного и подогревного индукторов при бестигельной зонной плавке [Текст] : сб. трудов ЗГИА / И.Ф. Червоный, С.Г. Егоров // Металлургия. – 2003. – Вып. № 7. – С.60-64.
- Егоров, С.Г. Конвекционные течения в расплавах полупроводников [Текст] : монография / С.Г. Егоров, В.И. Пожуев, И.Ф. Червоный. – Запорожье: ЗГИА, 2007. – 155 с. – Библиогр.: с. 139-152. – 300 прим. – ISBN 978-966-7101-82-4.
Downloads
How to Cite
Егоров, С. Г. (2012). About the role of melt movement during of the silicon single crystal growth by FZ method. Technology Audit and Production Reserves, 3(1(5), 19–20. https://doi.org/10.15587/2312-8372.2012.4729
Issue
Section
Fundamental research
License
Copyright (c) 2016 Сергей Геннадьевич Егоров
This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
The consolidation and conditions for the transfer of copyright (identification of authorship) is carried out in the License Agreement. In particular, the authors reserve the right to the authorship of their manuscript and transfer the first publication of this work to the journal under the terms of the Creative Commons CC BY license. At the same time, they have the right to conclude on their own additional agreements concerning the non-exclusive distribution of the work in the form in which it was published by this journal, but provided that the link to the first publication of the article in this journal is preserved.
