Аналіз умов формування фаз, що конденсують на поверхні кремнієвих прутков-підкладок

Автор(и)

  • Юрій Васильович Реков Запорізька державна інженерна академія, Україна

DOI:

https://doi.org/10.15587/2312-8372.2012.5484

Ключові слова:

Кремній, конденсація, парогазова фаза, кристалічна фаза

Анотація

Наведено фізико-хімічний аналіз утворення додаткових фаз на поверхні кремнієвих прутков-підкладок. Утворення додаткових фаз у вакуумі проходить через ряд стадій, що підкоряються певним закономірностям: випаровування, масоперенос і конденсація

Біографія автора

Юрій Васильович Реков, Запорізька державна інженерна академія

Аспірант кафедри металургії кольорових металів

Посилання

  1. Johannes Bernreuter. Polysilicon industry faces shakeout [Electronic resource]- Access mode : http://www.bernreuter.com/fileadmin/user_upload/silicon_report/ Polysilicon_Industry.pdf/ - 23.09.2012.
  2. Travis Bradford. Polysilicon: Supply, Demand and Implications for the PV Industry [Electronic resource] - Access mode: 20/09/2012.
  3. Green Rhino Energy. Value Chain Activity: Producing Polysilicon [Electronic resource] - Access mode: http://www.greenrhinoenergy.com/solar/industry/ind_01_silicon.php/, 23.09.2012.
  4. Brett Prior, Carolyn Campbell. Polysilicon 2012-2016: Supply, Demand & Implications for the Global PV Industry [Electronic resource] - Access mode: http://www.greentechmedia.com/research/report/polysilicon-2012-2016, 13.09.2012.
  5. Таран, Ю. Н. Полупроводниковый кремний: теория и технология производства [Текст] / Ю.Н. Таран, В. З. Куцова, И. Ф. Червоный, Е. Я. Швец, Э. С. Фалькевич. – Запорожье : ЗГИА, 2004. – 344 с. – Библиогр.: с. 317-342. – 300 экз. – ISBN 966-7101-61-4.
  6. Червоный, И. Ф. Бестигельная зонная плавка кремниевых основ для производства поликристаллического кремния [Текст] / И. Ф. Червоный, Ю. В. Реков, С. Г. Егоров, О. А. Кисарин, Р. Н. Воляр // Теория и практика металлургии, 2011. – №1-2. – С. 70-73.
  7. Червоный, И. Ф. О надежности процесса получения поликристаллического кремния с применением кремниевых затравок / И.Ф. Червоный, Ю.В. Реков, В.Ф. Червоный, С.Г. Егоров / Вісник Національного технічного університету «ХПІ». Збірник наукових прань. Серія: Нові рішення в сучасних технологіях. - X.: НТУ «ХПІ». - 2012р. - №44(950). – С. 137-143.
  8. Реков, Ю. В. Оптимизация процесса выращивания кремниевых основ для производства поликристаллического кремния [Текст] / Ю.В. Реков, И.Ф. Червоный, С.Г. Егоров, О.А. Кисарин, Р.Н. Воляр // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. 2011. T. 3, N 5(51). С. 15-19. Режим доступу : URL : http://journals.uran.ua/eejet/article/view/1584.
  9. Кнунянц, И. Л. Химическая энциклопедия [Text] : в 5 т. Т. 2. Даффа-Меди / Редкол. : гл. ред И. Л. Кнунянц. – М. : Сов. Энцикл., 1990. – : 671 с.: ил. – 10000 экз. – ISBN 5-85270-008-8; 5-85270-035-5(T.2)
  10. Peter, Atkins P., De Paula J., Atkins P.W. Atkins' Physical Chemistry (9th Revised Edition) Oxford University Press, 2009. – 1008 p. – ISBN: 0-19-954337-2.

##submission.downloads##

Опубліковано

2012-12-11

Як цитувати

Реков, Ю. В. (2012). Аналіз умов формування фаз, що конденсують на поверхні кремнієвих прутков-підкладок. Technology Audit and Production Reserves, 6(2(8), 19–20. https://doi.org/10.15587/2312-8372.2012.5484

Номер

Том 6 № 2(8) (2012): Наукові підсумки 2012

Розділ

Промислові технології

Ліцензія

Авторське право (c) 2016 Технологічний аудит та резерви виробництва

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Закріплення та умови передачі авторських прав (ідентифікація авторства) здійснюється у Ліцензійному договорі. Зокрема, автори залишають за собою право на авторство свого рукопису та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons CC BY. При цьому вони мають право укладати самостійно додаткові угоди, що стосуються неексклюзивного поширення роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом, але за умови збереження посилання на першу публікацію статті в цьому журналі.