Розробка методів відділення бінаризованних фрагментів ямок травлення пластини напівпровідника

Автор(и)

  • Андрей Николаевич Самойлов Кременчуцький національний університет імені Михайла Остроградського, вул. Першотравнева, 20, м. Кременчук, Україна, 39614, Україна https://orcid.org/0000-0001-9178-6202
  • Игорь Васильевич Шевченко Кременчуцький національний університет імені Михайла Остроградського, вул. Першотравнева, 20, м. Кременчук, Україна, 39614, Україна https://orcid.org/0000-0003-3009-8611

DOI:

https://doi.org/10.15587/2312-8372.2016.71988

Ключові слова:

ямки травлення, дислокація, фрагменти контуру, арсенід галію, цифрове зображення

Анотація

Досліджені можливості виділення фрагментів контурів ямок травлення дислокації на цифровому зображенні пластини напівпровідника на прикладі арсеніду галію. Розроблено метод фільтрації бінаризованих фрагментів ямок травлення, метод видалення контурів мікродефектів, а також критерії для виділення основних значущих фрагментів контурів. Наводиться покроковий опис методів.

Біографії авторів

Андрей Николаевич Самойлов, Кременчуцький національний університет імені Михайла Остроградського, вул. Першотравнева, 20, м. Кременчук, Україна, 39614

Аспірант

Кафедра інформаційно-управляючих систем 

Игорь Васильевич Шевченко, Кременчуцький національний університет імені Михайла Остроградського, вул. Першотравнева, 20, м. Кременчук, Україна, 39614

Доктор технічних наук, доцент

Кафедра інформаційно-управляючих систем

Посилання

  1. Samoilov, A. N., Shevchenko, I. V. (2013). Metody polucheniia konturov na tsifrovyh rastrovyh isobrazheniiah s nechiotkim otobrazheniem dislokatsii v plastinah GaAs. Kompiuterno-intehrovani tekhnolohii: osvita, nauka, vyrobnytstvo,12, 63–69.
  2. Samoilov, A. N. (2014). Issledovanie mediannoi fil'tratsii binarisovannyh konturov dislokatsii plastiny GaAs na rastrovyh tsifrovyh isobrazheniiah. Materialy I Vseukrainskoi naukovo-praktychnoi konferentsii «IT-Perspektyva», 4-5 kvitnia 2014 r., m. Kremenchuk, 10–11.
  3. Samoilov, A. N., Petrenko, V. R. (2012). Sravnenie effektivnosti global'nyh metodov binarisatsii rastrovyh tsvetnyh isobrazhenii. Vestnik KrNU imeni Mihaila Ostrogradskogo, 4 (75), 49–54.
  4. Samoilov, A. N., Shevchenko, I. V. (2013). Metod obnaruzheniia linii konturov v iarkostnyh perepadah predpolagaemyh granei binarisovannogo isobrazheniia sledov dislokatsii na plastinah GaAs. Avtomatisirovannye sistemy upravleniia i pribory avtomatiki, 165, 22–27.
  5. Samoilov, A., Shevchenko, I. (2015). Methods for recovering the dislocations contour line of gallium arsenide wafer of digital image. Eastern-European Journal Of Enterprise Technologies, 3(5(75)), 8–16. doi:10.15587/1729-4061.2015.43326
  6. Bessonov, A. A., Sagashchvili, Yu. V., Markelov, A. S. (1989). Metody i sredstva identifikatsii dinamicheskih ob'ektov. Moscow: Energoatomisdat, 280.
  7. Gonzalez, R., Woods, R. (2006). Digital image processing. Prentice Hall: Pearson Education, 616.
  8. Freeman, H. (1961). On the Encoding of Arbitrary Geometric Configurations. IEEE Transactions on Electronic Computers, EC-10 (2), 260–268. doi:10.1109/tec.1961.5219197
  9. Freeman, H. (1962). On the digital-comрuter classification of geometric line pattern. Proc. Nat Electron. Conf., 18, 312–324.
  10. Zamperoni, P. (1989). Methoden der digitalen Bildsignalverarbeitung. Vieweg+Teubner Verlag, 264. doi:10.1007/978-3-322-83935-0
  11. Skvortsov, A. V. (2002). Trianguliatsiia Delone i eio primenenie. Tomsk: Isdatel'stvo Tomskogo universiteta, 128.
  12. Jähne, B., Haußecker, H., Geißler, P., Hrsg. (1999). Principles of filter design. Ch. 6, № 2. San Diego: Academic Press, Computer Vision and Applications, Signal Processing and Pattern Recognition, 125–151.
  13. Gonzalez, R. C., Woods, R. E. (2002). Digital Image Processing. Ed. 2. New Jersey: Prentice-Hall, Inc., 793.
  14. Jian, A. K. (1988). Fundamentals of Digital Image Processing. Pearson, 569.
  15. Rosenfeld, A., Kak, A. C. (1982). Representation. Digital Picture Processing. Elsevier BV, 191–275. doi:10.1016/b978-0-12-597302-1.50010-4
  16. Mehtre, B. M., Kankanhalli, M. S., Wing Foon Lee. (1997, May). Shape measures for content based image retrieval: A comparison. Information Processing & Management, 33 (3), 319–337. doi:10.1016/s0306-4573(96)00069-6
  17. Samoilov, A. N. (2013). Analis adaptivnoi porogovoi obrabotki iarkostnyh perepadov elementov tsifrovogo rastrovogo isobrazheniia. Materialy X Mizhnarodnoi naukovo-praktychnoi konferentsii «Rozvytok naukovykh doslidzhen 2013», 25-27 lystopada 2013 r., m. Poltava, Vol. 5, 26–28.

##submission.downloads##

Опубліковано

2016-05-26

Як цитувати

Самойлов, А. Н., & Шевченко, И. В. (2016). Розробка методів відділення бінаризованних фрагментів ямок травлення пластини напівпровідника. Technology Audit and Production Reserves, 3(1(29), 60–68. https://doi.org/10.15587/2312-8372.2016.71988

Номер

Том 3 № 1(29) (2016): Математичне моделювання. Машинознавство та машинобудування. Інформаційні технології

Розділ

Інформаційні технології: Оригінальне дослідження

Ліцензія

Авторське право (c) 2016 Технологічний аудит та резерви виробництва

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Закріплення та умови передачі авторських прав (ідентифікація авторства) здійснюється у Ліцензійному договорі. Зокрема, автори залишають за собою право на авторство свого рукопису та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons CC BY. При цьому вони мають право укладати самостійно додаткові угоди, що стосуються неексклюзивного поширення роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом, але за умови збереження посилання на першу публікацію статті в цьому журналі.