DETERMINATION OF OPTICAL PROPERTIES OF THIN FILMS ТІО2 BY THE INSTRUMENTALITY OF CONVERTING METHOD

Authors

  • Віктор Васильович Брус Чернівецьке відділення Інституту проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України, Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.15587/1729-4061.2010.3149

Keywords:

TiO2, magnetron, optical properties

Abstract

The envelope method was employed to determine the thickness and optical properties of the TiO2 thin film deposited by DC reactive magnetron sputtering. The titanium dioxide thin film was established to be an indirect semiconductor with the band gap energy Eg=3.15 еВ.

Author Biography

Віктор Васильович Брус, Чернівецьке відділення Інституту проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України

Аспірант

References

  1. Diebold U. The surface science of titanium dioxide / U. Diebold // Surface Science Reports. – 43 (2003) 53 – 229.
  2. Sanchez-Gonzalez J. Determination of optical properties in nanostructured thin films using the Swanepoel method / J. Sanchez-Gonzalez, A. Diaz-Parralejo, A. L. Ortiz // Applied Surface Science 252 (2006) 6013-6017.
  3. Karunagaran B. Optical constants of DC magnetron sputtered titanium dioxide thin films measured by spectroscopic ellipspmetry / B. Karunagaran, R. T. Rajendra Kumar, C. Viswanathan, D. Mangalaraj // Crystal. Res. Technol. 38 (2003) 773-778.
  4. Eiamchai P. A spectroscopic ellipsometry study of TiO2 thin films prepared by ion-assisted electron – beam evaporation / P. Eiamchai, P. Chindaudom, A. Pokaipisit, P. Limsuwan // Current Applied Physics 9 (2009) 707–712.
  5. Bendavid A. Deposition and modification of titanium dioxide thin films by filtered arc deposition /A. Bendavid, P.J. Martin, H. Takikawa // Thin Solid Films, vol. 360, pp. 241–249, 2000.
  6. Уханов Ю. И. Оптические свойства полупроводников / Ю. И. Уханов – М.: Наука, 1977. – 368 с.

Published

2010-09-30

How to Cite

Брус, В. В. (2010). DETERMINATION OF OPTICAL PROPERTIES OF THIN FILMS ТІО2 BY THE INSTRUMENTALITY OF CONVERTING METHOD. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 5(5(47), 13–16. https://doi.org/10.15587/1729-4061.2010.3149