Джерело стрічкового пучка іонів

Authors

  • В. А. Никитинский Институт химических технологий Восточноукраинского национального университета им. В.Даля, ИХТ ВНУ Ул. Ленина, 31, г.Рубежное Луганской обл., Украина, 93009, Ukraine
  • Б. И. Журавлев Институт химических технологий Восточноукраинского национального университета им. В.Даля, ИХТ ВНУ Ул. Ленина, 31, г.Рубежное Луганской обл., Украина, 93009, Ukraine
  • А. В. Мищенко Институт химических технологий Восточноукраинского национального университета им. В.Даля, ИХТ ВНУ Ул. Ленина, 31, г.Рубежное Луганской обл., Украина, 93009, Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.15587/1729-4061.2009.5956

Abstract

Наведено опис конструкції і принципу дії джерела стрічкового пучка іонів різних газів, включаючи активні. Генерація іонів здійснюється плазмово-пучковим розрядом з холодним катодом, контрагірованним прямокутної щілиною з магнітним полем в ній. Джерело іонів призначений для технологічних установок з іоннолучевой обробкою матеріалів у вакуумі, вживаних в машинобудуванні, мікроелектроніці та інших галузях промисловості

Author Biographies

В. А. Никитинский, Институт химических технологий Восточноукраинского национального университета им. В.Даля, ИХТ ВНУ Ул. Ленина, 31, г.Рубежное Луганской обл., Украина, 93009

Кандидат технических наук, доцент

Кафедра общей физики и технической механики

Б. И. Журавлев, Институт химических технологий Восточноукраинского национального университета им. В.Даля, ИХТ ВНУ Ул. Ленина, 31, г.Рубежное Луганской обл., Украина, 93009

Кандидат технических наук, доцент

Кафедра общей физики и технической механики

А. В. Мищенко, Институт химических технологий Восточноукраинского национального университета им. В.Даля, ИХТ ВНУ Ул. Ленина, 31, г.Рубежное Луганской обл., Украина, 93009

Студент

References

  1. Стогний А.И., Никитинский В.А., Журавлев Б.И. Исследование эмиссии электронов из самостоятельного разряда низкого давления без магнитного поля // Тезисы докладов. Часть 1. 6 Всесоюзный симпозиум по сильноточной электронике. – Томск. – 1986. – С. 52–54.
  2. Стогний А.И., Никитинский В.А., Журавлев Б.И. Двухкаскадный самостоятельный разряд низкого давления без магнитного поля // Журнал технической физики. – 1988. – Т. 58, № 5. – С. 993–995.
  3. Журавлев Б.И., Прилепский В.В. Поликанальный разряд с полым катодом – эффективный генератор плазмы с большой эмиссионной поверхностью // 1 Всесоюзное совещание по плазменной эмиссионной электронике. – г. Улан-Удэ, Бурятский инст. естеств. наук, СО АН СССР, научный совет по проблеме «Физическая электроника». – 1990. – С. 110-112.
  4. Журавлев Б.И., Прилепский В.В., Горлатов В.С. Технологический источник ионов // Журнал “Приборы и техника эксперимента”. – 1993. – № 3. – С. 215-218.
  5. Никитинский В.А., Журавлев Б.И. Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов // Журнал “Технология и конструирование в электронной аппаратуре”. – 2006. – № 4. – С. 55–58.
  6. Никитинский В.А., Журавлев Б.И., Зема А.В. Эмиттер ионов на основе трехкаскадного самостоятельного разряда // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. – 2008. № 1/5. – С. 25-26.

Downloads

Published

2009-04-01

How to Cite

Никитинский, В. А., Журавлев, Б. И., & Мищенко, А. В. (2009). Джерело стрічкового пучка іонів. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 2(5(38), 7–9. https://doi.org/10.15587/1729-4061.2009.5956

Issue

Vol. 2 No. 5(38) (2009): Applied physics and materials science

Section

Applied physics

License

Copyright (c) 2014 В. А. Никитинский, Б. И. Журавлев, А. В. Мищенко

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.

The consolidation and conditions for the transfer of copyright (identification of authorship) is carried out in the License Agreement. In particular, the authors reserve the right to the authorship of their manuscript and transfer the first publication of this work to the journal under the terms of the Creative Commons CC BY license. At the same time, they have the right to conclude on their own additional agreements concerning the non-exclusive distribution of the work in the form in which it was published by this journal, but provided that the link to the first publication of the article in this journal is preserved.

A license agreement is a document in which the author warrants that he/she owns all copyright for the work (manuscript, article, etc.).
The authors, signing the License Agreement with TECHNOLOGY CENTER PC, have all rights to the further use of their work, provided that they link to our edition in which the work was published.
According to the terms of the License Agreement, the Publisher TECHNOLOGY CENTER PC does not take away your copyrights and receives permission from the authors to use and dissemination of the publication through the world's scientific resources (own electronic resources, scientometric databases, repositories, libraries, etc.).
In the absence of a signed License Agreement or in the absence of this agreement of identifiers allowing to identify the identity of the author, the editors have no right to work with the manuscript.
It is important to remember that there is another type of agreement between authors and publishers – when copyright is transferred from the authors to the publisher. In this case, the authors lose ownership of their work and may not use it in any way.