Джерело стрічкового пучка іонів
DOI:
https://doi.org/10.15587/1729-4061.2009.5956Анотація
Наведено опис конструкції і принципу дії джерела стрічкового пучка іонів різних газів, включаючи активні. Генерація іонів здійснюється плазмово-пучковим розрядом з холодним катодом, контрагірованним прямокутної щілиною з магнітним полем в ній. Джерело іонів призначений для технологічних установок з іоннолучевой обробкою матеріалів у вакуумі, вживаних в машинобудуванні, мікроелектроніці та інших галузях промисловостіПосилання
- Стогний А.И., Никитинский В.А., Журавлев Б.И. Исследование эмиссии электронов из самостоятельного разряда низкого давления без магнитного поля // Тезисы докладов. Часть 1. 6 Всесоюзный симпозиум по сильноточной электронике. – Томск. – 1986. – С. 52–54.
- Стогний А.И., Никитинский В.А., Журавлев Б.И. Двухкаскадный самостоятельный разряд низкого давления без магнитного поля // Журнал технической физики. – 1988. – Т. 58, № 5. – С. 993–995.
- Журавлев Б.И., Прилепский В.В. Поликанальный разряд с полым катодом – эффективный генератор плазмы с большой эмиссионной поверхностью // 1 Всесоюзное совещание по плазменной эмиссионной электронике. – г. Улан-Удэ, Бурятский инст. естеств. наук, СО АН СССР, научный совет по проблеме «Физическая электроника». – 1990. – С. 110-112.
- Журавлев Б.И., Прилепский В.В., Горлатов В.С. Технологический источник ионов // Журнал “Приборы и техника эксперимента”. – 1993. – № 3. – С. 215-218.
- Никитинский В.А., Журавлев Б.И. Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов // Журнал “Технология и конструирование в электронной аппаратуре”. – 2006. – № 4. – С. 55–58.
- Никитинский В.А., Журавлев Б.И., Зема А.В. Эмиттер ионов на основе трехкаскадного самостоятельного разряда // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. – 2008. № 1/5. – С. 25-26.
##submission.downloads##
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2014 В. А. Никитинский, Б. И. Журавлев, А. В. Мищенко
![Creative Commons License](http://i.creativecommons.org/l/by/4.0/88x31.png)
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Закріплення та умови передачі авторських прав (ідентифікація авторства) здійснюється у Ліцензійному договорі. Зокрема, автори залишають за собою право на авторство свого рукопису та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons CC BY. При цьому вони мають право укладати самостійно додаткові угоди, що стосуються неексклюзивного поширення роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом, але за умови збереження посилання на першу публікацію статті в цьому журналі.
Ліцензійний договір – це документ, в якому автор гарантує, що володіє усіма авторськими правами на твір (рукопис, статтю, тощо).
Автори, підписуючи Ліцензійний договір з ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР», мають усі права на подальше використання свого твору за умови посилання на наше видання, в якому твір опублікований. Відповідно до умов Ліцензійного договору, Видавець ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР» не забирає ваші авторські права та отримує від авторів дозвіл на використання та розповсюдження публікації через світові наукові ресурси (власні електронні ресурси, наукометричні бази даних, репозитарії, бібліотеки тощо).
За відсутності підписаного Ліцензійного договору або за відсутністю вказаних в цьому договорі ідентифікаторів, що дають змогу ідентифікувати особу автора, редакція не має права працювати з рукописом.
Важливо пам’ятати, що існує і інший тип угоди між авторами та видавцями – коли авторські права передаються від авторів до видавця. В такому разі автори втрачають права власності на свій твір та не можуть його використовувати в будь-який спосіб.