Оптимизация процесса выращивания кремниевых основ для производства поликристаллического кремния

Автор(и)

  • Юрий Васильевич Реков ПрАО «Завод полупроводников» ул. Тепличная, 16, г. Запорожье, Украина, 69600, Україна
  • Иван Федорович Червоный Запорожская государственная инженерная академия пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006, Україна
  • Сергей Геннадиевич Егоров Запорожская государственная инженерная академия пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006, Україна
  • Олег Алексеевич Кисарин Запорожской государственной инженерной академии пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006, Україна
  • Роман Николаевич Воляр Запорожская государственная инженерная академия пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006, Україна

DOI:

https://doi.org/10.15587/1729-4061.2011.1584

Ключові слова:

Полікристалічний кремній, епитаксиальний шар, напруга, газове середовище, індуктор

Анотація

Розглянуто вплив умов вирощування кременевих основ на утворення на їх поверхні эпитаксиального шару. Виключення освіти на поверхні кременевих основ епитаксиального шару пропонується шляхом проведення процесу плавки в газовому середовищі при тиску вище атмосферного

Біографії авторів

Юрий Васильевич Реков, ПрАО «Завод полупроводников» ул. Тепличная, 16, г. Запорожье, Украина, 69600

Генеральный директор

Иван Федорович Червоный, Запорожская государственная инженерная академия пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006

Доктор технических наук, профессор, заведующий кафедрой

Кафедра металлургии цветных металлов

Сергей Геннадиевич Егоров, Запорожская государственная инженерная академия пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006

Докторант, кандидат технических наук, доцент

Кафедра металлургии цветных металлов

Олег Алексеевич Кисарин, Запорожской государственной инженерной академии пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006

Кандидат технических наук, доцент

Кафедра физической и биомедицинской электроники

Роман Николаевич Воляр, Запорожская государственная инженерная академия пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006

Аспирант

Кафедра металлургии цветных металлов

Посилання

  1. Hilary Flynn, Travis Bradford. Polysilicon. Supply, Demand, et Implication for the PV Industry [Электронный ресурс] - Режим доступа : http://pdfbest.com/09/0935c0f1e7576bb7-download.pdf/ – 23.04.2011.
  2. Johannes Bernreuter. Polysilicon industry faces shakeout [Электронный ресурс] - Режим доступа :
  3. http://www.bernreuter.com/fileadmin/user_upload/silicon_report/Polysilicon_Industry.pdf/ – 23.04.2011.
  4. Green Rhino Energy. Value Chain Activity: Producing Polysilicon [Электронный ресурс] - Режим доступа :
  5. http://www.greenrhinoenergy.com/solar/industry/ind_01_silicon.php/ – 23.04.2011.
  6. Бочкарев, Э. П. Полупроводниковый поликристаллический кремний [Текст] / А. В. Елютин, Л. С. Иванов // Изв. вузов. Цветная металлургия. - 1997. - № 5. - С. 20-26.
  7. Андреев, В. В. Как организовать делопроизводство на предприятии [Текст] / В. В. Андреев. — М.: ИНФРА-М, 1997. — 94 с.
  8. Салли, И. В. Производство полупроводникового кремния [Текст] / Э. С. Фалькевич. – М. : Металлургия, 1970. – 152 с.
  9. Нашельский, А. Я. Производство полупроводниковых материалов [Текст] / А. Я. Нашельский. – М. : Металлургия, 1989. – 272 с.
  10. Кожитов, Л. В. Технологическое вакуумное оборудование. Часть 1. Вакуумные системы технологичсекого оборудования: Учебник для вузов [Текст] / А. Ю. Зарапин, Н. А. Чиченев. – М. : Издательский дом «Руда и металлы», 2001. – 416 с.
  11. Фалькевич, Э. С. Технология полупроводникового кремния. Монография [Текст] / Э. С. Фалькевич, Э. О. Пульнер, И. Ф. Червоный, Л. Я. Шварцман, В. Н. Яркин, И. В. Салли // М. : Металлургия, 1992. – 408 с.
  12. Хирс, Д. Испарение и конденсация, пер. с англ. [Текст] / Д. Хирс, Г. Паунд // М. : Металлургия, 1966. – 196 с.
  13. Еланский, Г. Н. Исследование угара железа в дуговых электропечах и изменение физических свойств стали при внепечной обработке / М. В. Шишимиров, О. М. Сосонкин, К. С. Филиппов, Сазонов А. П., Крюков А. П., М. С. Добрикова [Электронный ресурс] - Режим доступа :
  14. http://ruconf.ru/upload/iblock/587/9af2e7079cc42ce1ca10412b694d085c.pdf
  15. Кисарин, О. А. Трещинообразование в кремниевом стержне большого диаметра [Текст] / В. Н. Яркин, Ю. В. Реков, И. Ф. Червоный // Металлургия. Сб. науч. раб. Запорожье : ЗГИА, 2010. - Вып. 21. - С. 125-131.
  16. Беляев, Н. М. Рядно А.А. Методы нестационарной теплопроводности [Текст] / Н. М. Беляев, А.А. Рядно. – М. : Высшая школа, 1978. – 326 с.
  17. Слухоцкий, А. Е. Индукторы для индукционного нагрева [Текст] / А. Е. Слухоцкий, С. Е. Рыскин. – Л. : «Энергия», 1974. – 264 с. с ил.

##submission.downloads##

Як цитувати

Реков, Ю. В., Червоный, И. Ф., Егоров, С. Г., Кисарин, О. А., & Воляр, Р. Н. (2012). Оптимизация процесса выращивания кремниевых основ для производства поликристаллического кремния. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 3(5(51), 15–20. https://doi.org/10.15587/1729-4061.2011.1584

Номер

Том 3 № 5(51) (2011): Прикладна фізика та матеріалознавство

Розділ

Прикладна фізика

Ліцензія

Авторське право (c) 2014 Юрий Васильевич Реков, Иван Федорович Червоный, Сергей Геннадиевич Егоров, Олег Алексеевич Кисарин, Роман Николаевич Воляр

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Закріплення та умови передачі авторських прав (ідентифікація авторства) здійснюється у Ліцензійному договорі. Зокрема, автори залишають за собою право на авторство свого рукопису та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons CC BY. При цьому вони мають право укладати самостійно додаткові угоди, що стосуються неексклюзивного поширення роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом, але за умови збереження посилання на першу публікацію статті в цьому журналі.

Ліцензійний договір – це документ, в якому автор гарантує, що володіє усіма авторськими правами на твір (рукопис, статтю, тощо).
Автори, підписуючи Ліцензійний договір з ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР», мають усі права на подальше використання свого твору за умови посилання на наше видання, в якому твір опублікований. Відповідно до умов Ліцензійного договору, Видавець ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР» не забирає ваші авторські права та отримує від авторів дозвіл на використання та розповсюдження публікації через світові наукові ресурси (власні електронні ресурси, наукометричні бази даних, репозитарії, бібліотеки тощо).
За відсутності підписаного Ліцензійного договору або за відсутністю вказаних в цьому договорі ідентифікаторів, що дають змогу ідентифікувати особу автора, редакція не має права працювати з рукописом.
Важливо пам’ятати, що існує і інший тип угоди між авторами та видавцями – коли авторські права передаються від авторів до видавця. В такому разі автори втрачають права власності на свій твір та не можуть його використовувати в будь-який спосіб.