Дослідження поверхонь мультикристалічних підкладок кремнію насичених воднем методами мас-спектроскопії

Автор(и)

  • Анатолій Олександрович Дружинін Національний університет „Львівська політехніка” вул. С. Бандери, 12, Львів, Україна, 79013, Україна https://orcid.org/0000-0002-4854-3464
  • Валерій Юрійович Єрохов Національний університет „Львівська політехніка” вул. С. Бандери, 12, Львів, Україна, 79013, Україна https://orcid.org/0000-0002-9699-7110
  • Микола Миколайович Берченко Центр Мікроелектроніки і нанотехнології Жешівського університету вул. Пігоня 1, 35-959 Жешів, Польша, Польща https://orcid.org/0000-0002-7438-3716

DOI:

https://doi.org/10.15587/1729-4061.2014.21053

Ключові слова:

фотоелектричний перетворювач, пористий кремній, електрохімічна гідрогенізація, мультикристалічна підкладка, мас-спектрометрія

Анотація

Методами мас-спектрометрії вивчалися насичені воднем гідрогенізовані поверхні кремнієвих мультикристалічних підкладок типу Baysix з пористим кремнієм. Були отримані 2D-іонні зображення поверхні мультикристалічної підкладки, отримані на мас-спектрометрі TOF5 SIMS з допомогою струму вторинних іонів Н+ водню і молекулярного SiH2+. Визначення кількості водню в динамічному режимі травленні дозволив отримати точний розподіл водню.

Біографії авторів

Анатолій Олександрович Дружинін, Національний університет „Львівська політехніка” вул. С. Бандери, 12, Львів, Україна, 79013

Доктор технічних наук, професор

Кафедра напівпровідникової електроніки

Валерій Юрійович Єрохов, Національний університет „Львівська політехніка” вул. С. Бандери, 12, Львів, Україна, 79013

Доктор технічних наук, доцент

Кафедра Напівпровідникової електроніки

Микола Миколайович Берченко, Центр Мікроелектроніки і нанотехнології Жешівського університету вул. Пігоня 1, 35-959 Жешів, Польша

Доктор фізико-математичних наук, профессор

Посилання

  1. Huang, Y. M. Porous silicon based solar cells [Text] / Y. M. Huang, Q.-L. Ma, M. Meng // Materials Science Forum. – 2011. – Vol. 663-665. – P. 836-839.
  2. Jinsu, Yooa Black surface structures for crystalline silicon solar cells [Text] / Yooa Jinsu, Yua Gwonjong, Yib Junsin // Materials Science and Engineering, B. – 2009. – Vol. 159–160. – P. 333–337.
  3. Fang, W. Analysis of sunlight loss for femtosecond laser microstructed silicon and its solar cell efficiency [Text] / W. Fang, C. Changshui, H. Huili // Applied Physics A: Materials Science and Processing. – 2011. – Vol. 103 (4). – P. 977-982.
  4. Foil, Н. Formation and application of porous silicon [Text] / Н. Foil, М. Christophersen, J. Carstensen, G. Hasse // Materials Science and Engineering R. – 2002. – Vol. 39. – P. 93-141.
  5. Bertoni, M.I. Impact of defect type on hydrogen passivation effectiveness in multicrystalline silicon solar cells [Text] / M. I. Bertoni, S. Udelson, B. K. Newman, S. Bernardis // In Proc. of the 35th IEEE Photovoltaic Specialists Conference. – 2010 – 345 р.
  6. Banerjee, S. Role of Hydrogen- and oxygen-terminated surfaces in the luminescence of porous silicon [Text] / S. Banerjee, K. L. Narasimhan, A. Sardesai // Physical Review B. – 1994. – Vol. 49(4). – P. 2915-2918.
  7. Yerokhov, V. Yu. Porous silicon hydrogenizing for solar cells [Text] / V. Yu. Yerokhov, I. I. Melnyk, L. Z. Gasko, O. I. Iznin / In Proc. of First World Conference Porous Semiconductors: Science and Technology. – Mallorca, Spain, 1998. – 169 р.
  8. Yerokhov, V. Yu. Hydrogenated porous silicon in solar cells structure [Text] / V. Yu. Yerokhov, I. I. Melnyk, N. Bogdanovsky, O. I. Iznin // In Proc. of 2nd World Conference on Photovoltaic Solar Energy Conversion. – Vienna, Austria. – 1998. – P. 1256-1259.
  9. Druzhinin, A. Si. Nanowires for Antireflective Coatings of Photovoltaic Cells [Text] / A. Druzhinin, I. Ostrovskij, V. Yerokhov, Yu. Khoverko, S. Nichkalo, Iu. Kogut // In Proc. Of Material of Хth International Conference “Modern Problem of Radio Department at the Lviv Polytechnic National University”, TCSET’2012. – Lviv, Ukraine. – 2012. – P. 484-485.
  10. Salman, K. A. The effect of etching time of porous silicon on solar cell performance [Text] / K. A. Salman, K. Omar and Z. Hassan // Superlattices and Microstructures. – 2011. – Vol. 50(6). – P. 647-658.
  11. Huang, Y. M., Ma, Q.-L., Meng, M. (2011). Porous silicon based solar cells, Materials Science Forum, 663-665, 836-839.
  12. Jinsu, Yooa, Gwonjong, Yua, Junsin, Yib (2009). Black surface structures for crystalline silicon solar cells. Materials Science and Engineering, B, 159–160, 333–337.
  13. Fang W., Changshui C., Huili H. (2011). Analysis of sunlight loss for femtosecond laser microstructed silicon and its solar cell efficiency, Applied Physics A: Materials Science and Processing, 103(4), 977-982.
  14. Foil, Н., Christophersen, М., Carstensen, J., Hasse, G. (2002). Formation and application of porous silicon, Materials Science and Engineering R, 39, 93-141.
  15. Bertoni, M. I., Udelson, S., Newman, B. K., Bernardis, S. (2010). Impact of defect type on hydrogen passivation effectiveness in multicrystalline silicon solar cells, In Proc. of the 35th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 345.
  16. Banerjee, S., Narasimhan, K. L., Sardesai, A. (1994). Role of Hydrogen- and oxygen-terminated surfaces in the luminescence of porous silicon, Physical Review B, 49(4), 2915-2918.
  17. Yerokhov, V. Yu., Melnyk, I. I., Gasko, L. Z., Iznin, O. I. (1998). Porous silicon hydrogenizing for solar cells”, In Proc. of First World Conference “Porous Semiconductors: Science and Technology”, Mallorca, Spain, 169.
  18. Yerokhov, V. Yu, Melnyk, I. I., Bogdanovsky, N., Iznin, O. I. (1998). Hydrogenated porous silicon in solar cells structure, In Proc. of 2nd World Conference on Photovoltaic Solar Energy Conversion, Vienna, Austria, 1256-1259.
  19. Druzhinin, A., Ostrovskij, I., Yerokhov, V., Khoverko, Yu., Nichkalo, S., Kogut, Iu. (2012). Nanowires for Antireflective Coatings of Photovoltaic Cells, In Proc. of Material of ХΙth International Conference “Modern Problem of Radio Department at the Lviv Polytechnic National University” TCSET’2012, Lviv, Ukraine, 484-485.
  20. Salman, K. A., Omar, K., Hassan, Z. (2011). The effect of etching time of porous silicon on solar cell performance, Superlattices and Microstructures, 50(6), 647-658.

##submission.downloads##

Опубліковано

2014-02-07

Як цитувати

Дружинін, А. О., Єрохов, В. Ю., & Берченко, М. М. (2014). Дослідження поверхонь мультикристалічних підкладок кремнію насичених воднем методами мас-спектроскопії. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 1(5(67), 34–37. https://doi.org/10.15587/1729-4061.2014.21053

Номер

Том 1 № 5(67) (2014): Прикладна фізика

Розділ

Прикладна фізика

Ліцензія

Авторське право (c) 2014 Анатолій Олександрович Дружинін, Валерій Юрійович Єрохов, Микола Миколайович Берченко

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Закріплення та умови передачі авторських прав (ідентифікація авторства) здійснюється у Ліцензійному договорі. Зокрема, автори залишають за собою право на авторство свого рукопису та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons CC BY. При цьому вони мають право укладати самостійно додаткові угоди, що стосуються неексклюзивного поширення роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом, але за умови збереження посилання на першу публікацію статті в цьому журналі.

Ліцензійний договір – це документ, в якому автор гарантує, що володіє усіма авторськими правами на твір (рукопис, статтю, тощо).
Автори, підписуючи Ліцензійний договір з ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР», мають усі права на подальше використання свого твору за умови посилання на наше видання, в якому твір опублікований. Відповідно до умов Ліцензійного договору, Видавець ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР» не забирає ваші авторські права та отримує від авторів дозвіл на використання та розповсюдження публікації через світові наукові ресурси (власні електронні ресурси, наукометричні бази даних, репозитарії, бібліотеки тощо).
За відсутності підписаного Ліцензійного договору або за відсутністю вказаних в цьому договорі ідентифікаторів, що дають змогу ідентифікувати особу автора, редакція не має права працювати з рукописом.
Важливо пам’ятати, що існує і інший тип угоди між авторами та видавцями – коли авторські права передаються від авторів до видавця. В такому разі автори втрачають права власності на свій твір та не можуть його використовувати в будь-який спосіб.