Інформаційні технології управління якістю процесу вирощування монокристалів напівпровідників

Автор(и)

  • Игорь Васильевич Шевченко Кременчуцький національний університет імені Михайла Остроградського вул. Першотравнева, 20, м. Кременчук, Україна, 39600, Україна

DOI:

https://doi.org/10.15587/1729-4061.2014.25193

Ключові слова:

інформаційна технологія, вирощування монокристалів, моніторинг, підтримка прийняття рішень, оптимізація

Анотація

В статті  представлен комплекс інформаційних технологій, що забезпечують моніторинг процесу вирощування монокристалів, підтримку прийняття рішень з корекції режиму вирощування та оптимізацію геометричних параметрів теплового екрана ростовой установки. Реалізація інформаційних технологій дозволила знизити втрати від зривів процесу вирощування і скоротити витрати на технічну підготовку виробництва. 

Біографія автора

Игорь Васильевич Шевченко, Кременчуцький національний університет імені Михайла Остроградського вул. Першотравнева, 20, м. Кременчук, Україна, 39600

Кандидат технічних наук, доцент

Кафедра інформаційно-управляючих систем

Посилання

  1. Crowley, А. А. Modelling of the growth of GaAs by LEC Technique [Text] / А. А. Crowley, E. I. Stern, D. I. Hurle // Thermal distribution in the crystal. J. Cryst. Growth. – 1991. – № 108 (2). – P. 627–636.
  2. Nalbandyan, H. G. Possibility of programming and optimal control of growth in the Czochralski technique [Text] / H. G. Nalbandyan // J. Crystal Growth. – 1984. – № 67 (1). – P. 115–118.
  3. Satunkin, G. A. Mathematical modeling and control system design of Czochralski and liquid encapsulated Czochralski process: the basic low order mathematical model [Text] / G. A. Satunkin // J. of Crystal Growth. – 1995. – Vol. 154, № 1-2. – P. 172–188.
  4. Riedling, K. Autonomous liquid encapsulated Czochralski (LEC) growth of single crystal GaAs by “intelligent’ digital control [Text] / K. Riedling // J. Crystal Growth. – 1988. – Vol. 89, Issue 4. – P. 435–446.
  5. Mikki, F. T. A Neural Network Approach in a Backward Heat Conduction Problem [Text] : proc. of the IV Brazilian conf. / F. T. Mikki, E. I. Issamoto, J. da Luz, P. P. B. de Oliveira, H. F. Campos-Velho, J. D. S. da Silva // Neural Networks, 1999. – P. 19–24.
  6. Левыкин, В. М. Информационная технология мониторинга температурных полей в процессе выращивания монокристаллов [Текст] / В. М. Левыкин, И. В. Шевченко // Вимірювальна та обчислювальна техніка в технологічних процесах. – 2014. – № 1 (46). – С. 133–138.
  7. Zadeh, L. A. From Сomputing with Numbers to Computing with Words – From Manipulation of Measurements to Manipulation of Perceptions [Text] / L. A. Zadeh // IEEE Transactions on Circuits and Systems. – 1999. – Vol. 45. – P. 105–119.
  8. Тakagi, T. Fuzzy identifications of systems and its application to modeling and control [Text] / T. Тakagi, M. Cugeno // IEEE Trans. SMC-15. – 1985. – № 1. – P. 116–132.
  9. Шевченко, И. В. Диагностика неблагоприятных ситуаций в процессе выращивания монокристаллов полупроводников [Текст] / И. В. Шевченко, Н. Н. Дымченко, С. А. Грицаков // Вісник Кременчуцького національного університету ім. Михайла Остроградського. – 2014. – Вип. 1/2014 (84). – С. 34–43.
  10. Шевченко, И. В. Информационная технология оптимизации геометрических параметров тепловых узлов установок для выращивания монокристаллов [Текст] / И. В. Шевченко // Вісник Кременчуцького національного університету ім. Михайла Остроградського. – 2013. – Вип. 4 (81). – С. 114–120.
  11. Crowley, А. А., Stern, E. I., Hurle, D. I. (1991). Modelling of the growth of GaAs by LEC Technique. 1. Thermal distribution in the crystal. J. Cryst. Growth, 108 (2), 627–636.
  12. Nalbandyan, H. G. (1984). Possibility of programming and optimal control of growth in the Czochralski technique. J. Crystal Growth, 67 (1), 115–118.
  13. Satunkin, G. A. (1995). Mathematical modeling and control system design of Czochralski and liquid encapsulated Czochralski process: the basic low order mathematical model. J. of Crystal Growth, Vol. 154, 1-2, 172–188.
  14. Riedling, K. (1988). Autonomous liquid encapsulated Czochralski (LEC) growth of single crystal GaAs by “intelligent’ digital control. J. Crystal Growth, Vol. 89 Issue 4 July 1, 435–446.
  15. Mikki, F. T., Issamoto, E. I., J. da Luz, P. P. B. de Oliveira, Campos-Velho, H. F., J. D. S. da Silva (1999). A Neural Network Approach in a Backward Heat Conduction Problem. Proceedings of the IV Brazilian Conference on Neural Networks, 19–24.
  16. Zadeh, L. A. (1999). From Сomputing with Numbers to Computing with Words – From Manipulation of Measurements to Manipulation of Perceptions. IEEE Transactions on Circuits and Systems, 45, 105–119.
  17. Тakagi, T., Cugeno, M. (1985). Fuzzy identifications of systems and its application to modeling and control. IEEE Trans. SMC-15, 1, 116–132.
  18. Levykin, V. M., Shevchenko, I. V. (2014). Information technology for temperature fields monitoring during the single srystals growth. Vymiruvalna ta obchyslyuvalna tekhnika v tekhnologichnykh protsessakh, 1 (46), 133–138.
  19. Shevchenko, I. V., Dymchenko, N. N., Gritsakov, S. A. (2014). Diagnotics of adverse conditions during semiconductor single crystal growth, Transactions of Kremenchuk Mykhailo Ostrohradskyi National University, 84 (1), 34–43.
  20. Shevchenko, I. V. (2013). The information technology for optimization of the heating units geometry of single crystal growth systems. Transactions of Kremenchuk Mykhailo Ostrohradskyi National University, 81(4), 114–120.

##submission.downloads##

Опубліковано

2014-06-25

Як цитувати

Шевченко, И. В. (2014). Інформаційні технології управління якістю процесу вирощування монокристалів напівпровідників. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 3(2(69), 52–56. https://doi.org/10.15587/1729-4061.2014.25193

Номер

Том 3 № 2(69) (2014): Інформаційні технології. Системи управління в промисловості

Розділ

Системи управління в промисловості

Ліцензія

Авторське право (c) 2014 Игорь Васильевич Шевченко

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Закріплення та умови передачі авторських прав (ідентифікація авторства) здійснюється у Ліцензійному договорі. Зокрема, автори залишають за собою право на авторство свого рукопису та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons CC BY. При цьому вони мають право укладати самостійно додаткові угоди, що стосуються неексклюзивного поширення роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом, але за умови збереження посилання на першу публікацію статті в цьому журналі.

Ліцензійний договір – це документ, в якому автор гарантує, що володіє усіма авторськими правами на твір (рукопис, статтю, тощо).
Автори, підписуючи Ліцензійний договір з ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР», мають усі права на подальше використання свого твору за умови посилання на наше видання, в якому твір опублікований. Відповідно до умов Ліцензійного договору, Видавець ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР» не забирає ваші авторські права та отримує від авторів дозвіл на використання та розповсюдження публікації через світові наукові ресурси (власні електронні ресурси, наукометричні бази даних, репозитарії, бібліотеки тощо).
За відсутності підписаного Ліцензійного договору або за відсутністю вказаних в цьому договорі ідентифікаторів, що дають змогу ідентифікувати особу автора, редакція не має права працювати з рукописом.
Важливо пам’ятати, що існує і інший тип угоди між авторами та видавцями – коли авторські права передаються від авторів до видавця. В такому разі автори втрачають права власності на свій твір та не можуть його використовувати в будь-який спосіб.