Вплив домішки Fe та термічної обробки на оптичні властивості тонких плівок ТіО2

Автор(и)

  • Михайло Миколайович Солован Чернівецький національний університет ім. Ю. Федьковича вул. Коцюбинського 2, Чернівці, Україна, 58012, Україна
  • Павло Дмитрович Мар’янчук Чернівецький національний університет ім. Ю. Федьковича вул. Коцюбинського 2, Чернівці, Україна, 58012, Україна
  • Віктор Васильович Брус Чернівецьке відділення Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України вул. Ірини Вільде, 5, м. Чернівці, Україна, 58000, Україна

DOI:

https://doi.org/10.15587/1729-4061.2012.3383

Ключові слова:

ТіО2, оптичні властивості, легування, відпал

Анотація

Отримано тонкі плівки ТіО2:Fe методом електронно-променевого випаровування, а також досліджено вплив легування та термічної обробки на оптичні властивості тонких плівок

Біографії авторів

Михайло Миколайович Солован, Чернівецький національний університет ім. Ю. Федьковича вул. Коцюбинського 2, Чернівці, Україна, 58012

Аспірант

Павло Дмитрович Мар’янчук, Чернівецький національний університет ім. Ю. Федьковича вул. Коцюбинського 2, Чернівці, Україна, 58012

Доктор фізико-математичних наук, професор, завідувач кафедри

Кафедра електроніки і енергетики

Віктор Васильович Брус, Чернівецьке відділення Інститут проблем матеріалознавства ім. І. М. Францевича НАН України вул. Ірини Вільде, 5, м. Чернівці, Україна, 58000

Аспірант

Посилання

  1. Diebold U. The surface science of titanium dioxide / U. Diebold // Surface Science Reports. – 43 (2003) 53 – 229.
  2. Sanchez-Gonzalez J. Determination of optical properties in nanostructured thin films using the Swanepoel method / J. Sanchez-Gonzalez, A. Diaz-Parralejo, A. L. Ortiz // Applied Surface Science 252 (2006) 6013-6017
  3. Брус В.В. Визначення оптичних властивостей тонких плівок TiO2 за допомогою конвертного методу/ В.В. Брус – Східно-Європейський журнал передових технологій. 2010. T. 5, N 5(47). С. 13-16. Режим доступу : URL : http://journals.uran.ua/eejet/article/view/3149
  4. Karunagaran B. Optical constants of DC magnetron sputtered titanium dioxide thin films measured by spectroscopic ellipspmetry / B. Karunagaran, R. T. Rajendra Kumar, C. Viswanathan, D. Mangalaraj // Crystal. Res. Technol. 38 (2003) 773-778.
  5. Eiamchai P. A spectroscopic ellipsometry study of TiO2 thin films prepared by ion-assisted electron – beam evaporation / P. Eiamchai, P. Chindaudom, A. Pokaipisit, P. Limsuwan // Current Applied Physics 9 (2009) 707–712
  6. Уханов Ю. И. Оптические свойства полупроводников / Ю. И. Уханов – М.: Наука, 1977. – 368 с.
  7. Bendavid A. Deposition and modification of titanium dioxide films by
  8. filtered arc deposition / A. Bendavid, P. J. Martin, H. Takikawa // Thin Solid Films 360 (2000) 241.
  9. Lobl P. Nucleation and growth in TiO2 films prepared by sputtering and evaporation / P. Lobl, M. Huppertz, D. Mergel // Thin Solid Films 251 (1994) 72.

##submission.downloads##

Опубліковано

2012-02-01

Як цитувати

Солован, М. М., Мар’янчук, П. Д., & Брус, В. В. (2012). Вплив домішки Fe та термічної обробки на оптичні властивості тонких плівок ТіО2. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 1(5(55), 36–39. https://doi.org/10.15587/1729-4061.2012.3383