Термодинамический анализ процесса гидрохлорирования технического кремния

Автор(и)

  • Иван Федорович Червоный Запорожская государственная инженерная академия пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006, Україна
  • Юрий Васильевич Реков ЧАО «Завод полупроводников», г. Запорожье ул. Тепличная, 16, г. Запорожье, Украина, 69600, Україна
  • Сергей Геннадиевич Егоров Запорожская государственная инженерная академия пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006, Україна
  • Роман Николаевич Воляр Запорожская государственная инженерная академия пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006, Україна

DOI:

https://doi.org/10.15587/1729-4061.2011.2300

Ключові слова:

Полікристалічний кремній, хлорування, трихлорсилан

Анотація

Виконано термодинамічний аналіз реакцій, що протікають в процесі гідрохлорування технічного кремнію. Показано, що найбільший інтерес представляє використання каталітичних реакцій, які здатні значно підвищити ефективність процесу гідрохлорування технічного кремнію

Біографії авторів

Иван Федорович Червоный, Запорожская государственная инженерная академия пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006

Доктор технических наук, профессор, заведующий кафедрой

Кафедра металлурги цветных металлов

Юрий Васильевич Реков, ЧАО «Завод полупроводников», г. Запорожье ул. Тепличная, 16, г. Запорожье, Украина, 69600

Генеральный директор

Сергей Геннадиевич Егоров, Запорожская государственная инженерная академия пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006

Кандидат технических наук, доцент

Кафедра металлурги цветных металлов

Роман Николаевич Воляр, Запорожская государственная инженерная академия пр. Ленина, 226, г. Запорожье, Украина, 69006

Старший викладач

Кафедра металлурги цветных металлов

Посилання

  1. Червоній, І. Ф. Напівпровідниковий кремній: теорія і технологія виробництва [Текст] : монографія / І. Ф. Червоний, В. З. Куцова, В. І. Пожу-ев, Є. Я. Швець, О. А. Носко, С. Г. Єгоров, Р. М. Воляр ; під. заг. ред. І. Ф. Червоного. – Вид. 2-е, допр. і перер. – Запоріжжя: Видавництво ЗДІА, 2009. – 488 с. – Бібліогр. : 446-484. – 300 прим. – ISBN 978-966-8462-24-5.
  2. Чернюк, А. Кремний поликристаллический – производство [Электронный ресурс] / Режим доступа : http://www.newbiz.com.ua/Partner/kremnij-polikristallicheskij-proizvodstvo.html / Выборка 29.10.2011 г. - Загл. с экрана.
  3. Siliken chemicals. Technology [Электронный ресурс] / Режим доступа :
  4. http://www.siliken-chemicals.com/technology / Выборка 26.10.2011 г. - Загл. с экрана.
  6. Carl Merkh and Xiaojing Sun. Polysilicon plant waste recycling [Электронный ресурс] / Режим доступа : http://www.electroiq.com/articles/pvw/2011/10/polysilicon-plant-waste-recycling.html / Выборка 26.10.2011 г. - Загл. с экрана.
  7. Outotec.Технологии. HSC Chemistry [Электронный ресурс] / Режим доступа :
  8. http://www.outotec.com/pages/Page_21783.aspx?epslanguage=RU / Выборка 26.10.2011 г. - Загл. с экрана.
  9. Горбунов, А. И. Реакции кремния и германия с галогенами, гидрид- и органогалогенами. [Текст] / А. И. Горбунов, А. П. Белый, Г. Г. Филиппов // Успехи химии. – 1974. – Т. 43, вып. 4. – С. 683-706. : библиогр. С. 703-706.
  10. Аркадьев, А. А. Разработка способов синтеза трихлорсилана при повышенном давлении давлении [Электронный ресурс] / Полный текст : http://diss.rsl.ru/diss/05/0776/050776033.pdf / дисс. … канд. техн. наук : 05.17-01 / Назаров Ю.Н. – М.: РГБ. 2005 (Из фондов Российской Государственной Библиотеки). – 139 с. – Библиогр. : С. 115-123.

##submission.downloads##

Як цитувати

Червоный, И. Ф., Реков, Ю. В., Егоров, С. Г., & Воляр, Р. Н. (2012). Термодинамический анализ процесса гидрохлорирования технического кремния. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 6(6(54), 56–59. https://doi.org/10.15587/1729-4061.2011.2300

Номер

Том 6 № 6(54) (2011): Технології органічних і неорганічних речовин

Розділ

Технології органічних та неорганічних речовин

Ліцензія

Авторське право (c) 2014 Иван Федорович Червоный, Юрий Васильевич Реков, Сергей Геннадиевич Егоров, Роман Николаевич Воляр

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Закріплення та умови передачі авторських прав (ідентифікація авторства) здійснюється у Ліцензійному договорі. Зокрема, автори залишають за собою право на авторство свого рукопису та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons CC BY. При цьому вони мають право укладати самостійно додаткові угоди, що стосуються неексклюзивного поширення роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом, але за умови збереження посилання на першу публікацію статті в цьому журналі.

Ліцензійний договір – це документ, в якому автор гарантує, що володіє усіма авторськими правами на твір (рукопис, статтю, тощо).
Автори, підписуючи Ліцензійний договір з ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР», мають усі права на подальше використання свого твору за умови посилання на наше видання, в якому твір опублікований. Відповідно до умов Ліцензійного договору, Видавець ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР» не забирає ваші авторські права та отримує від авторів дозвіл на використання та розповсюдження публікації через світові наукові ресурси (власні електронні ресурси, наукометричні бази даних, репозитарії, бібліотеки тощо).
За відсутності підписаного Ліцензійного договору або за відсутністю вказаних в цьому договорі ідентифікаторів, що дають змогу ідентифікувати особу автора, редакція не має права працювати з рукописом.
Важливо пам’ятати, що існує і інший тип угоди між авторами та видавцями – коли авторські права передаються від авторів до видавця. В такому разі автори втрачають права власності на свій твір та не можуть його використовувати в будь-який спосіб.