Дослідження стабільності електрофізичних параметрів Si-пластин перед формуванням поруватого шару
DOI:
https://doi.org/10.15587/1729-4061.2012.6032Ключові слова:
поруватий кремній, фінішна хімічна обробка, контактна різниця потенціалів, кремнієві пластиниАнотація
Експериментально показано, що час досягнення стаціонарних значень контактної різниці потенціалів і роботи виходу електрона після обробки поверхні Si-пластин у кислотно-пероксидних розчинах менші, ніж в амоніачно-пероксидних. Отримані результати трактуються утворенням на поверхні Si відповідно оксидної плівки і гідроксидного шару, що під час анодування призводить до формування макропоруватого і мікро- чи мезопоруватого шару кремніюПосилання
- Volker Lehmann. Electrochemistry of Silicon: Instrumentation, Science, Materials and Applications [Теxт] / Volker Lehmann. – Weinheim: WILEY-VCH Verlag GmbH, D-69469, 2002. – 283 р..
- Воробець, М. М. Деякі критерії якості фізико-хімічної обробки поверхні кремнієвих пластин [Текст] / М. М. Воробець, А. Г. Волощук, Я. Ю.Тевтуль // Наук. вісник ЧНУ, вип.307, Хімія. – Чернівці, 2006. – С.75–80.
- Вплив фінішної обробки кремнієвих пластин на кінетику формування поруватого кремнію [Текст] / М. М. Воробець, Г. І. Воробець, А. Г. Волощук, Я. Ю. Тевтуль // Наук. вісник ЧНУ, вип.453, Хімія. – Чернівці, 2009. С.69–74.
- Волощук, А. Г. Установка для вимірювання величини та розподілу поверхневого потенціалу Si-пластин методом контактної різниці потенціалів [Текст] / А. Г. Волощук, В. Т. Білоголовка // Методи та прилади контролю якості. – 2002. – №8 – С.44–47.
##submission.downloads##
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2014 Марія Михайлівна Воробець
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Закріплення та умови передачі авторських прав (ідентифікація авторства) здійснюється у Ліцензійному договорі. Зокрема, автори залишають за собою право на авторство свого рукопису та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons CC BY. При цьому вони мають право укладати самостійно додаткові угоди, що стосуються неексклюзивного поширення роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом, але за умови збереження посилання на першу публікацію статті в цьому журналі.
Ліцензійний договір – це документ, в якому автор гарантує, що володіє усіма авторськими правами на твір (рукопис, статтю, тощо).
Автори, підписуючи Ліцензійний договір з ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР», мають усі права на подальше використання свого твору за умови посилання на наше видання, в якому твір опублікований. Відповідно до умов Ліцензійного договору, Видавець ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР» не забирає ваші авторські права та отримує від авторів дозвіл на використання та розповсюдження публікації через світові наукові ресурси (власні електронні ресурси, наукометричні бази даних, репозитарії, бібліотеки тощо).
За відсутності підписаного Ліцензійного договору або за відсутністю вказаних в цьому договорі ідентифікаторів, що дають змогу ідентифікувати особу автора, редакція не має права працювати з рукописом.
Важливо пам’ятати, що існує і інший тип угоди між авторами та видавцями – коли авторські права передаються від авторів до видавця. В такому разі автори втрачають права власності на свій твір та не можуть його використовувати в будь-який спосіб.
