Про утворення стратової неоднорідності в монокристалах кремнію
DOI:
https://doi.org/10.15587/1729-4061.2014.27982Ключові слова:
кремній, фронт кристалізації, монокристал, домішка, неоднорідність, страти, мікросхема, концентрація, переохолодження, фазаАнотація
У роботі виконано аналіз накопичення домішки в розплаві у фронту кристалізації при вирощуванні монокристалів кремнію і розглянута модель прискореної кристалізації цієї області розплаву. Для усунення або значного зниження характеристик страт, пропонується застосовувати режими вирощування монокристалів при високих швидкостях, що виключить накопичення домішки з фронту кристалізації і забезпечить однорідний її розподіл за обсягом монокристала.
Посилання
1. Lektsiya 17. Osnovnyie printsipyi nanotehnologii. Perspektivyi nanoteh-nologii v sistemah zapisi i hraneniya informatsii. Available at: http://rudocs.exdat.com/docs/index-247352.html (Last accesed: 10.09.2014).
2. Zakon Mura i ego vliyanie na mikroprotsessoryi. Sozdaem svoy protsessor. Available at: http://www.igropolis.com/articles/46496/Zakon_Mura_i_ego_vliyanie_na_mikroprocessory.htm] (Last accesed: 12.09.2014)
3. Friedrich, J., Stockmeier, L., Muller, G. (2013). Constitutional Supercooling in Czochralski Growth of Heavily Doped Silicon Crystals. Acta Physica Polonica, 124 (2), 219. Available at: http://connection.ebscohost.com/c/articles/89750179/constitutional-supercooling-czochralski-growth-heavily-doped-silicon-crystals (last accessed:10.09.2014).
4. 5th International Workshop on Crystal Growth Technology (2011). Berlin, Germany, 32. Available at: http://iwcgt5.ikz-berlin.de/fileadmin/pdf/IWCGT5_Abstractbook.pdf (Last accessed: 01.09.2014).
5. Patent RU 2257428. Byivalyiy. Sposob polucheniya odnorodnyih mono-kristallov. pulished 27.07.2005. Byul. № 2. Available at: http://www.freepatent.ru/images/patents/211/2257428/patent-2257428.pdf (Last accessed: 15.09.2014).
6. 5th International Workshop on Crystal Growth Technology (2011). Berlin, Germany, 79. Available at: http://iwcgt5.ikz-berlin.de/fileadmin/pdf/IWCGT5_Abstractbook.pdf (Last accessed: 15.08.2014).
7. Nashelskiy, A. Ya. (1972). Tehnologiya poluprovodnikovyih materialov. Moscow: Metallurgiya, 432.
8. Falkevich, E. S., Pulner, E. O., Chervonyiy, I. F., Shvartsman, L. Ya., Yarkim, V. N., Salli, I. V., Pulner, E. O., Chervonyiy, I. F. (1992). Tehnologiya poluprovodnikovogo kremniya. Moscow: Metallurgiya, 408.
9. Glazov, V. M., Zemskov, V. S. (1967). Fiziko-himicheskie osnovyi legirovaniya poluprovodnikov. Moscow: Nauka, 367.
10. Sluchinskaya, I. A. (2002). Osnovyi materialovedeniya i tehnologii polupro-vodnikov. Moscow: Nauka, 376. Available at: http://www.twirpx.com/file/96095/ (Last accessed: 17.08.2014).
##submission.downloads##
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2014 Анна Александровна Якименко, Иван Федорович Червоный
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Закріплення та умови передачі авторських прав (ідентифікація авторства) здійснюється у Ліцензійному договорі. Зокрема, автори залишають за собою право на авторство свого рукопису та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons CC BY. При цьому вони мають право укладати самостійно додаткові угоди, що стосуються неексклюзивного поширення роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом, але за умови збереження посилання на першу публікацію статті в цьому журналі.
Ліцензійний договір – це документ, в якому автор гарантує, що володіє усіма авторськими правами на твір (рукопис, статтю, тощо).
Автори, підписуючи Ліцензійний договір з ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР», мають усі права на подальше використання свого твору за умови посилання на наше видання, в якому твір опублікований. Відповідно до умов Ліцензійного договору, Видавець ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР» не забирає ваші авторські права та отримує від авторів дозвіл на використання та розповсюдження публікації через світові наукові ресурси (власні електронні ресурси, наукометричні бази даних, репозитарії, бібліотеки тощо).
За відсутності підписаного Ліцензійного договору або за відсутністю вказаних в цьому договорі ідентифікаторів, що дають змогу ідентифікувати особу автора, редакція не має права працювати з рукописом.
Важливо пам’ятати, що існує і інший тип угоди між авторами та видавцями – коли авторські права передаються від авторів до видавця. В такому разі автори втрачають права власності на свій твір та не можуть його використовувати в будь-який спосіб.
