Дослідження поверхні пористого кремнію мас-спектроскопією вторинних іонів

Автор(и)

  • Микола Миколайович Берченко Центр Мікроелектроніки і нанотехнології Жешівського університету вул. Пігоня 1, 35-959 Жешів, Польша, Польща
  • Валерій Юрійович Єрохов Національний університет „Львівська політехніка” вул. С. Бандери, 12, Львів, 79013, Україна
  • Степан Ігорович Нічкало Національний університет “Львівська політехніка” Вул. С. Бандери, 12, Львів, Україна, 79013, Україна
  • Євген Іванович Бережанський Національний університет “Львівська політехніка” Вул. С. Бандери, 12, Львів, Україна, 79013, Україна

DOI:

https://doi.org/10.15587/1729-4061.2014.33550

Ключові слова:

пористий кремній, електрохімічна гідрогенізація, мультикристалічна підкладка, мас-спектрометрія, фотоелектричний перетворювач

Анотація

Методами мас-спектрометрії вивчалися кремнієві поверхні мультикристалічних підкладок для фотоелектричних перетворювачів, одразу після формування пористого кремнію і наступної гідрогенізації. Були отримані мас-спектроскопічні характеристики кремнієвих поверхонь і їх 2D-іонні зображення, отримані на мас-спектрометрі TOF5 SIMS з допомогою струму вторинних іонів СН3+. Наведено результати дослідження поверхні кремнію до і після електрохімічного травлення по створенню шару пористого кремнію.

Біографії авторів

Микола Миколайович Берченко, Центр Мікроелектроніки і нанотехнології Жешівського університету вул. Пігоня 1, 35-959 Жешів, Польша

Доктор фізико-математичних наук, профессор

Валерій Юрійович Єрохов, Національний університет „Львівська політехніка” вул. С. Бандери, 12, Львів, 79013

Кандидат фізико-математичних наук

Доцент кафедри „Напівпровідникова електроніка”

Степан Ігорович Нічкало, Національний університет “Львівська політехніка” Вул. С. Бандери, 12, Львів, Україна, 79013

Кандидат технічних наук

Кафедра напівпровідникової електроніки

Євген Іванович Бережанський, Національний університет “Львівська політехніка” Вул. С. Бандери, 12, Львів, Україна, 79013

Аспірант

Кафедра напівпровідникової електроніки

Посилання

  1. Bilyalov, R. R., Lüdemann, R., Wettling, W., Stalmans, L., Poortmans, J., Nijs, J. et. al. (2000). Multicrystalline silicon solar cells with porous silicon emitter. Solar Energy Materials and Solar Cells, 60 (4), 391–420. doi: 10.1016/s0927-0248(99)00102-6
  2. Huang, Y. M., Ma, Q.-L., Meng, M. (2011). Porous silicon based solar cells, Materials Science Forum, 663-665, 836–839. doi: 10.4028/www.scientific.net/msf.663-665.836
  3. Jinsu, Y., Gwonjong, Y., Junsin, Y. (2009). Black surface structures for crystalline silicon solar cells. Materials Science and Engineering, B, 159-160, 333–337. doi: 10.1016/j.mseb.2008.10.019
  4. Fang, W., Changshui, C., Huili, H. (2011). Analysis of sunlight loss for femtosecond laser microstructed silicon and its solar cell efficiency, Applied Physics A, 103 (4), 977–982. doi: 10.1007/s00339-010-6095-0
  5. Foil, Н., Christophersen, М., Carstensen, J.,. Hasse, G. (2002). Formation and application of porous silicon, Materials Science and Engineering R, 39, 93–141.
  6. Yerokhov, V. Yu., Melnyk, I. I., Gasko, L. Z., Iznin, O. I. (1998). Porous silicon hydrogenizing for solar cells”, In Proc. of First World Conference "Porous Semiconductors: Science and Technology”. Mallorca, Spain, 169.
  7. Yerokhov, V. Yu, Melnyk, I. I., Bogdanovsky, N., Iznin, O. I. (1998). Hydrogenated porous silicon in solar cells structure, In Proc. of 2nd World Conference on Photovoltaic Solar Energy Conversion, Vienna, Austria, 1256–1259.
  8. Bertoni, M. I., Udelson, S., Newman, B. K., Bernardis, S. et. al. (2010). Impact of defect type on hydrogen passivation effectiveness in multicrystalline silicon solar cells, In Proc. of the 35th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 345. doi: 10.1109/pvsc.2010.5616904
  9. Druzhynin, A. O., Jerohov, V. Ju., Berchenko, N. N. (2014). Study of surface multicrystalline substrates silicon saturated aqueous by mass spectroscopy. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 1/5(67), 34–37. Available at: http://journals.uran.ua/eejet/article/view/21053/18887
  10. Salman, K. A., Omar, K., Hassan, Z. (2011). The effect of etching time of porous silicon on solar cell performance. Superlattices and Microstructures, 50(6), 647–658. doi: 10.1016/j.spmi.2011.09.006
  11. Banerjee, S., Narasimhan, K. L., Sardesai, A. (1994). Role of Hydrogen- and oxygen-terminated surfaces in the luminescence of porous silicon, Physical Review B, 49 (4), 2915–2918. doi: 10.1103/physrevb.49.2915

##submission.downloads##

Опубліковано

2014-12-15

Як цитувати

Берченко, М. М., Єрохов, В. Ю., Нічкало, С. І., & Бережанський, Є. І. (2014). Дослідження поверхні пористого кремнію мас-спектроскопією вторинних іонів. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 6(11(72), 41–45. https://doi.org/10.15587/1729-4061.2014.33550

Номер

Розділ

Матеріалознавство