ПРЕЦИЗІЙНІ ТЕХНОЛОГІЇ ЛАЗЕРНОЇ ОБРОБКИ ТОНКОПЛІВКОВИХ ЕЛЕМЕНТІВ ІНТЕГРАЛЬНИХ СХЕМ
DOI:
https://doi.org/10.15587/1729-4061.2012.4573Ключові слова:
тонкоплівкові елементи, лазерна підгонка, фотошаблони, інтегральні та гібридні схеми.Анотація
Розглянуто питання технології лазерної підгонки параметрів плівкових елементів, які використовуються для створення прецизійних вимірювальних приладів та інтегральних схем.Посилання
- Вейко, В. П. Лазерная обработка пленочных элементов [Текст] / В. П. Вейко. - Л. : Гр. ЛИТМО, - 1980. - С. 36-45.
- Вейко, В. П. Экспериментальное исследование кинетики лазерного нагревания тонких металлических пленок [Текст] / В. П. Вейко, Е. М. Табачник, Е. А. Тучкова // Электронная обработка материалов. - 1986. - №1. - С. 22-25.
- Вейко, В. П. О разрешающей способности лазерной литографии на тонких металлических пленках [Текст] / В. П. Вейко, Е. А. Тучкова, Е. Б. Яковлев // Квантовая электроника. - 1984. - Т. 11. - №4. - С. 661-665.
- Дмитриев, В. Г. Твердотельные лазеры на АИГ с преобразованием частоты [Текст] / В. Г. Дмитриев, М. Ф. Стельмах, О. Б. Чередниченко // Электронная промышленность. - 1981. - №5-6. - С. 19-28.
- Карпман, И. Н. Ретушь и корректировка фотошаблонов интегральных схем [Текст] / И. Н. Карпман, Г. П. Суслов // Электронная техника. - 1975. Т. 3. - №4. - С. 101-106.
- Вейко, В. П. Оптимальный режим формирования топологии рисунка при лазерной обработке пленок [Текст] / В. П. Вейко, И. Н. Карпман, М. Н. Либенсон // Квантовая электроника. - 1982. - Т. 9. - №11. - С. 2167-2172.
- Антимиров, В. И. Лазерные технологии [Текст] / В. И. Антимиров, И. А. Кадомский, Е. А. Кусман, В. Е. Матюшков // Электронная промышленность. - 1981. - №5-6. - С. 145-146.
- Новосядлий, С. П. Фізико-технологічні основи субмікронної технології ВІС [Текст] / С. П. Новосядлий // Івано-Франківськ : Сімик. - 2003. - 351 с.
- Новосядлий, С. П. Лазерні технології в мікроелектроніці [Текст] / С. П. Новосядлий, О. Б. Фрик // Фізика і хімія твердого тіла. - 2010. - Т. 11. - №1. - С. 201-215.
##submission.downloads##
Опубліковано
Як цитувати
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2014 Степан Петрович Новосядлий, Андрій Іванович Терлецький, Оксана Богданівна Фрик
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Закріплення та умови передачі авторських прав (ідентифікація авторства) здійснюється у Ліцензійному договорі. Зокрема, автори залишають за собою право на авторство свого рукопису та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons CC BY. При цьому вони мають право укладати самостійно додаткові угоди, що стосуються неексклюзивного поширення роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом, але за умови збереження посилання на першу публікацію статті в цьому журналі.
Ліцензійний договір – це документ, в якому автор гарантує, що володіє усіма авторськими правами на твір (рукопис, статтю, тощо).
Автори, підписуючи Ліцензійний договір з ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР», мають усі права на подальше використання свого твору за умови посилання на наше видання, в якому твір опублікований. Відповідно до умов Ліцензійного договору, Видавець ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР» не забирає ваші авторські права та отримує від авторів дозвіл на використання та розповсюдження публікації через світові наукові ресурси (власні електронні ресурси, наукометричні бази даних, репозитарії, бібліотеки тощо).
За відсутності підписаного Ліцензійного договору або за відсутністю вказаних в цьому договорі ідентифікаторів, що дають змогу ідентифікувати особу автора, редакція не має права працювати з рукописом.
Важливо пам’ятати, що існує і інший тип угоди між авторами та видавцями – коли авторські права передаються від авторів до видавця. В такому разі автори втрачають права власності на свій твір та не можуть його використовувати в будь-який спосіб.
