Аналіз умов формування фаз, що конденсують на поверхні кремнієвих прутков-підкладок

Автор(и)

  • Юрий Васильевич Реков ВАТ «Завод напівпровідників» вул. Теплична, 16, м. Запоріжжя, Україна, 69009, Україна

DOI:

https://doi.org/10.15587/1729-4061.2012.5720

Ключові слова:

кремній, конденсація, парогазова фаза, кристалічна фаза, термодинамічний потенціал, випаровування, тепло перенос, масоперенос

Анотація

Наведено аналіз утворення конденсованих фаз на поверхні кремнієвих прутков-підкладок. Утворення конденсаційних шарів в системі «розплав кремнію – кремнієва основа – парогазова фаза» у вакуумі проходить через ряд стадій, що підкоряються певним закономірностям: випаровування, масоперенос і конденсація. Завершуючим етапом є конденсація атомів кремнію на бічній поверхні кремнієвого прутка

Біографія автора

Юрий Васильевич Реков, ВАТ «Завод напівпровідників» вул. Теплична, 16, м. Запоріжжя, Україна, 69009

Генеральний директор

Посилання

  1. Johannes Bernreuter. Polysilicon industry faces shakeout [E a resource]- Access mode : http://www.bernreuter.com/fileadmin/user_upload/silicon_report/ Polysilicon_Industry.pdf/ - 23.09.2012.
  2. Travis Bradford. Polysilicon: Supply, Demand and Implications for the PV Industry [electronic resource] - Access mode: 20/09/2012.
  3. Green Rhino Energy. Value Chain Activity: Producing Polysilicon [the electrons resource] - Access mode: http://www.greenrhinoenergy.com/solar/industry/
  4. ind_01_silicon.php/, 23.09.2012.
  5. Brett Prior, Carolyn Campbell. Polysilicon 2012-2016: Supply, Demand & Implications for the Global PV Industry [electronic resource] - Access mode:
  6. http://www.greentechmedia.com/research/report/polysilicon-2012-2016, 13.09.2012.
  7. Таран, Ю. Н. Полупроводниковый кремний: теория и технология производства [Текст] / Ю.Н. Таран, В. З. Куцова, И. Ф. Червоный, Е. Я. Швец, Э. С. Фалькевич. – Запорожье : ЗГИА, 2004. – 344 с. – Библиогр.: с. 317-342. – 300 экз. – ISBN 966-7101-61-4.
  8. Червоный, И. Ф. Бестигельная зонная плавка кремниевых основ для производства поликристаллического кремния [Текст] / И. Ф. Червоный, Ю. В. Реков, С. Г. Егоров, О. А. Кисарин, Р. Н. Воляр // Теория и практика металлургии, 2011. – №1-2. – С. 70-73.
  9. Червоный, И. Ф. О надежности процесса получения поликристаллического кремния с применением кремниевых затравок / И.Ф. Червоный, Ю.В. Реков, В.Ф. Червоный, С.Г. Егоров / Вісник Національного технічного університету «ХПІ». Збірник наукових прань. Серія: Нові рішення в сучасних технологіях. - X.: НТУ «ХПІ». - 2012р. - №44(950). – С. 137-143.
  10. Реков, Ю. В. Оптимизация процесса выращивания кремниевых основ для производства поликристаллического кремния [Текст] / Ю.В. Реков, И.Ф. Червоный, С.Г. Егоров, О.А. Кисарин, Р.Н. Воляр // Восточно-Европейский журнал передовых технологий, 2011. - № 3/5 (51). – С. 15-19.
  11. Кнунянц, И. Л. Химическая энциклопедия [Ntrcn] : в 5 т. Т. 2. Даффа-Меди / Редкол. : гл. ред И. Л. Кнунянц. – М. : Сов. Энцикл., 1990. – : 671 с.: ил. – 10000 экз. – ISBN 5-85270-008-8; 5-85270-035-5(T.2)
  12. Peter, Atkins P., De Paula J., Atkins P.W. Atkins' Physical Chemistry (9th Revised Edition) Oxford University Press, 2009. – 1008 p. – ISBN: 0-19-954337-2.
  13. Годнев, И. Н. Физическая химия: Учеб. Пособие для хим.-тех. Спец. Вузов / И. Н. Годнев, К. С. Краснов, Н. К. Воробьев, В. Н. Васильева, В. П. Васильев, В. Л. Киселева, К. Н. Белоногов ; под. ред. К. С. Краснова. – М.: Выш. Школа, 1982. – 687 с. – 35000 экз.
  14. Трошенькин, Б. А. Теплообмен при кипении и конденсации / Сб. тез. докл. 6-ой Междунар. науч. школы-конф. Актуальные вопросы теплофизики и физической гидрогазодинамики, 22–28 сент. 2008 г., – Алушта, 2008. – С. 71–73.
  15. Dinsdale, A. T. SGTE data for pure elements // CALPHAD. – 1991. – V. 15, N 4. – P. 317–425.

##submission.downloads##

Опубліковано

2012-12-17

Як цитувати

Реков, Ю. В. (2012). Аналіз умов формування фаз, що конденсують на поверхні кремнієвих прутков-підкладок. Eastern-European Journal of Enterprise Technologies, 6(5(60), 50–55. https://doi.org/10.15587/1729-4061.2012.5720

Номер

Том 6 № 5(60) (2012): Прикладна фізика та матеріалознавство

Розділ

Прикладна фізика

Ліцензія

Авторське право (c) 2014 Юрий Васильевич Реков

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Закріплення та умови передачі авторських прав (ідентифікація авторства) здійснюється у Ліцензійному договорі. Зокрема, автори залишають за собою право на авторство свого рукопису та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons CC BY. При цьому вони мають право укладати самостійно додаткові угоди, що стосуються неексклюзивного поширення роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом, але за умови збереження посилання на першу публікацію статті в цьому журналі.

Ліцензійний договір – це документ, в якому автор гарантує, що володіє усіма авторськими правами на твір (рукопис, статтю, тощо).
Автори, підписуючи Ліцензійний договір з ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР», мають усі права на подальше використання свого твору за умови посилання на наше видання, в якому твір опублікований. Відповідно до умов Ліцензійного договору, Видавець ПП «ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР» не забирає ваші авторські права та отримує від авторів дозвіл на використання та розповсюдження публікації через світові наукові ресурси (власні електронні ресурси, наукометричні бази даних, репозитарії, бібліотеки тощо).
За відсутності підписаного Ліцензійного договору або за відсутністю вказаних в цьому договорі ідентифікаторів, що дають змогу ідентифікувати особу автора, редакція не має права працювати з рукописом.
Важливо пам’ятати, що існує і інший тип угоди між авторами та видавцями – коли авторські права передаються від авторів до видавця. В такому разі автори втрачають права власності на свій твір та не можуть його використовувати в будь-який спосіб.